Зображення обкладинки

Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

При ионно-лучевом травлении диэлектрических образцов через маску субмикронных размеров зарядка поверхности вызывает искривление траектории ионов, что в конечном итоге делает невозможным получение более мелких микроструктур. В данной работе в качестве инструмента для сухого...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2006
Автори:	Возный, А.В., Ям, Дж.Ю., Кропотов, А.Ю., Фареник, В.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98787
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик / А.В. Возный, Дж.Ю. Ям, А.Ю. Кропотов, В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 97–103. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Динамическая электрострикция бозе-конденсата и системы нейтральных атомов
за авторством: Косевич, А.М.
Опубліковано: (2005)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
за авторством: Фареник, В.И.
Опубліковано: (2004)

Коэффициент сухого трения
за авторством: Радченко, А.К., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование радиотерапевтического протонного пучка фазотрона ЛЯП ОИЯИ
за авторством: Молоканов, А.Г.
Опубліковано: (2008)

Характристика экологического состояния Сухого лимана
за авторством: Павлютина, Л.П., та інші
Опубліковано: (2005)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2015)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Самоорганизация нейтральных частиц на поверхности сверхтекучего He II
за авторством: Левченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2019)

Ускорение электронов в не-нейтральных турбулентных токовых слоях на Солнце
за авторством: Литвиненко, Ю.Э., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование локализованных пакетов ридберговских атомов
за авторством: Дербов, В.Л., та інші
Опубліковано: (2008)

Газотермические покрытия, содержащие твердые смазки, для работы в условиях сухого трения и повышенных температур
за авторством: Туник, А.Ю.
Опубліковано: (2002)

К вопросу оптимизации закачки "сухого" газа на газоконденсатных месторождениях в режиме частичного сайклинг-процесса
за авторством: Калугин, А.Ю.
Опубліковано: (2015)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Малое предпринимательство и формирование эффективных механизмов его развития и совершенствования
за авторством: Арутюнян, А.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование распределенных характеристик электронного пучка, формируемого кольцевым катодом при электронно-лучевой зонной плавке
за авторством: Демченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

Определение физических параметров газа в нейтральных атмосферах комет. Метод изофот
за авторством: Кравцов, Ф.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)

Исследование процесса травления горячекатаного полосового проката в турбулентном потоке солянокислотных травильных растворов
за авторством: Шевченко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Археологічні обстеження у пониззі Сухого Кобелячка на Полтавщині
за авторством: Супруненко, О.Б., та інші
Опубліковано: (2009)

Высыпание сухого песка из литейных форм без пылеобразования
за авторством: Дорошенко, В.С.
Опубліковано: (2011)

Про можливість “сухого” тертя у надплинному Не4
за авторством: Tomchenko, M.D.
Опубліковано: (2022)

Контроль и формирование пучка протонов линейного ускорителя ИЯИ РАН на мишени изотопного комплекса
за авторством: Брагин, С.Е., та інші
Опубліковано: (2010)

Исследование терапевтического протонного пучка ИЯИ РАН
за авторством: Акулиничев, С.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Формирование аморфизированного наплава при воздействии импульсного трубчатого пучка электронов на поверхность металлов
за авторством: Базалеев, Н.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Изменение микроструктуры сухого остатка воды при различных способах ее обработки
за авторством: Долинский, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Экономико-математическая модель расчета нейтральных норм налоговой амортизации в условиях инфляции
за авторством: Виецкая, О.В.
Опубліковано: (2009)

Определение физических параметров газа в нейтральных атмосферах комет. Метод круговых диафрагм
за авторством: Кравцов, Ф.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2013)

Формирование выходных характеристик многомодульной электротепломеханической системы
за авторством: Заблодский, Н.Н.
Опубліковано: (2003)

Литье в оболочковые формы, полученные пропиткой сухого песка связующим
за авторством: Дорошенко, В.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Дослідження зносотривкості високоазотних сталей за умов сухого тертя ковзання
за авторством: Балицький, О.І., та інші
Опубліковано: (2012)

Разработка технологии получения сухого лецитина из фосфатидного концентрата подсолнечника
за авторством: Шульга, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)

Опыт лицензирования в Украине ХОЯТ сухого типа Запорожской АЭС
за авторством: Двоеглазов, А.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Миграция примесных атомов в структуре графена
за авторством: Долгов, А.С., та інші
Опубліковано: (2013)

Об эффективности метода вероятностно нейтральных битов в статистическом криптоанализе синхронных поточных шифров
за авторством: Алексейчук, А.Н., та інші
Опубліковано: (2016)