Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда

• Опубліковано в: : Физическая инженерия поверхности
• Дата: 2006
• Автори: Береснев, В.М., Толок, В.Т., Швец, О.М., Фурсова, Е.В., Чернышов, Н.Н., Маликов, Л.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98788
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
 вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
 от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены
 технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены
 закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых
 покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические
 характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических
 испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим
 эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN. Доведено можливість формування шарових покриттів TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумнодугового осадження з використанням ВЧ- розряду,
 для очищення плазмового потоку від мікрочастинок. На основі розрахунків швидкості осадження (товщини) визначені технологічні параметри,
 які дозволяють формувати наношарові структури.
 Установлено закономірності зміни фаза-структурного складу, мікротвердості отриманих покриттів
 від тиску, прискорюваного потенціалу напруги,
 який подається на підкладинку. Вивчено триботехнічні характеристики покриттів у порівнянні
 з покриттям TiN. Результати триботехнічних випробувань свідчать, що наношарові покриття TiN/
 Mo, TiN/БрАЖ9-4 за своїми експлуатаційними
 показниками суттєво перевищують покриття TiN. The opportunity of formation of layered coverings
 TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4, by a method of vacuum-arc
 sedimentation with use HF of the discharge, for
 clearing a plasma stream of microparticles is shown.
 On the basis of calculations speed (thickness) the
 technological parameters are determined, allowing to
 form nanolayers structures. Laws of change phasestructural
 structure, microhardness of received
 coverings from the pressure, the accelerating potential
 of a substrate are established. Shown, that a study
 flowing of fciction characteristics of coverings in
 comparison with covering TiN. Results friction tests
 testify, that nanolayer coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 on the operational parameters essentially
 exceed covering TiN.