Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
 вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
 от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены
 технологические параметры,...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98788 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862716465272061952 |
|---|---|
| author | Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. |
| author_facet | Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. |
| citation_txt | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены
технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены
закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых
покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические
характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических
испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим
эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN.
Доведено можливість формування шарових покриттів TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумнодугового осадження з використанням ВЧ- розряду,
для очищення плазмового потоку від мікрочастинок. На основі розрахунків швидкості осадження (товщини) визначені технологічні параметри,
які дозволяють формувати наношарові структури.
Установлено закономірності зміни фаза-структурного складу, мікротвердості отриманих покриттів
від тиску, прискорюваного потенціалу напруги,
який подається на підкладинку. Вивчено триботехнічні характеристики покриттів у порівнянні
з покриттям TiN. Результати триботехнічних випробувань свідчать, що наношарові покриття TiN/
Mo, TiN/БрАЖ9-4 за своїми експлуатаційними
показниками суттєво перевищують покриття TiN.
The opportunity of formation of layered coverings
TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4, by a method of vacuum-arc
sedimentation with use HF of the discharge, for
clearing a plasma stream of microparticles is shown.
On the basis of calculations speed (thickness) the
technological parameters are determined, allowing to
form nanolayers structures. Laws of change phasestructural
structure, microhardness of received
coverings from the pressure, the accelerating potential
of a substrate are established. Shown, that a study
flowing of fciction characteristics of coverings in
comparison with covering TiN. Results friction tests
testify, that nanolayer coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 on the operational parameters essentially
exceed covering TiN.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:05:05Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98788 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:05:05Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. 2016-04-17T19:09:14Z 2016-04-17T19:09:14Z 2006 Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98788 621.793: 539.61: 669.018: 620.1 Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
 вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
 от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены
 технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены
 закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых
 покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические
 характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических
 испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим
 эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN. Доведено можливість формування шарових покриттів TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумнодугового осадження з використанням ВЧ- розряду,
 для очищення плазмового потоку від мікрочастинок. На основі розрахунків швидкості осадження (товщини) визначені технологічні параметри,
 які дозволяють формувати наношарові структури.
 Установлено закономірності зміни фаза-структурного складу, мікротвердості отриманих покриттів
 від тиску, прискорюваного потенціалу напруги,
 який подається на підкладинку. Вивчено триботехнічні характеристики покриттів у порівнянні
 з покриттям TiN. Результати триботехнічних випробувань свідчать, що наношарові покриття TiN/
 Mo, TiN/БрАЖ9-4 за своїми експлуатаційними
 показниками суттєво перевищують покриття TiN. The opportunity of formation of layered coverings
 TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4, by a method of vacuum-arc
 sedimentation with use HF of the discharge, for
 clearing a plasma stream of microparticles is shown.
 On the basis of calculations speed (thickness) the
 technological parameters are determined, allowing to
 form nanolayers structures. Laws of change phasestructural
 structure, microhardness of received
 coverings from the pressure, the accelerating potential
 of a substrate are established. Shown, that a study
 flowing of fciction characteristics of coverings in
 comparison with covering TiN. Results friction tests
 testify, that nanolayer coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 on the operational parameters essentially
 exceed covering TiN. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда Мікро-наношарові покриття сформовані методом вакуумно - дугового осаждення з використанням вч-розряду Mickro-nanolayer coverings produced by the method vacuum-arc deposition from use the hf-discharge Article published earlier |
| spellingShingle | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. |
| title | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_alt | Мікро-наношарові покриття сформовані методом вакуумно - дугового осаждення з використанням вч-розряду Mickro-nanolayer coverings produced by the method vacuum-arc deposition from use the hf-discharge |
| title_full | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_fullStr | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_full_unstemmed | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_short | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_sort | микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием вч-разряда |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98788 |
| work_keys_str_mv | AT beresnevvm mikronanosloinyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT tolokvt mikronanosloinyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT švecom mikronanosloinyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT fursovaev mikronanosloinyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT černyšovnn mikronanosloinyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT malikovlv mikronanosloinyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT beresnevvm míkronanošarovípokrittâsformovanímetodomvakuumnodugovogoosaždennâzvikoristannâmvčrozrâdu AT tolokvt míkronanošarovípokrittâsformovanímetodomvakuumnodugovogoosaždennâzvikoristannâmvčrozrâdu AT švecom míkronanošarovípokrittâsformovanímetodomvakuumnodugovogoosaždennâzvikoristannâmvčrozrâdu AT fursovaev míkronanošarovípokrittâsformovanímetodomvakuumnodugovogoosaždennâzvikoristannâmvčrozrâdu AT černyšovnn míkronanošarovípokrittâsformovanímetodomvakuumnodugovogoosaždennâzvikoristannâmvčrozrâdu AT malikovlv míkronanošarovípokrittâsformovanímetodomvakuumnodugovogoosaždennâzvikoristannâmvčrozrâdu AT beresnevvm mickronanolayercoveringsproducedbythemethodvacuumarcdepositionfromusethehfdischarge AT tolokvt mickronanolayercoveringsproducedbythemethodvacuumarcdepositionfromusethehfdischarge AT švecom mickronanolayercoveringsproducedbythemethodvacuumarcdepositionfromusethehfdischarge AT fursovaev mickronanolayercoveringsproducedbythemethodvacuumarcdepositionfromusethehfdischarge AT černyšovnn mickronanolayercoveringsproducedbythemethodvacuumarcdepositionfromusethehfdischarge AT malikovlv mickronanolayercoveringsproducedbythemethodvacuumarcdepositionfromusethehfdischarge |