Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2006
• Main Authors: Береснев, В.М., Толок, В.Т., Швец, О.М., Фурсова, Е.В., Чернышов, Н.Н., Маликов, Л.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98788
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
 вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
 от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены
 технологические параметры,...