Зображення обкладинки

Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда

Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены технологические параметры,...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2006
Автори:	Береснев, В.М., Толок, В.Т., Швец, О.М., Фурсова, Е.В., Чернышов, Н.Н., Маликов, Л.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98788
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
за авторством: Гриценко, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)

О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий
за авторством: Швец, О.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Светофильтрующие покрытия на основе окислов железа, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Лапшин, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
за авторством: Турбин, П.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Микрокристаллическое покрытие Fe-Ti-C, сформированное вакуумно-дуговым методом осаждения
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)

Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2014)

Вакуумно-дуговые многослойные покрытия
за авторством: Береснев, В.М.
Опубліковано: (2005)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Методы пайки изделий в вакууме с помощью вакуумно-дугового разряда
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2016)

Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)

Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Алимов, В.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Механические свойства наноструктурированных покрытий (Ti, Al)N и (Ti, Cr)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2014)

Формирование сверхтвердого состояния вакуумно-дугового высокоэнтропийного покрытия TiZrHfNbTaYN
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Динамическая модель развития дугового разряда
за авторством: Павленко, Т.П.
Опубліковано: (2005)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А.
Опубліковано: (2006)

Вакуумно-плазменные покрытия на основе многоэлементных нитридов
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Многокомпонентные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия для режущего инструмента
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ДУГОВОЙ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ ЛАЗЕРНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА
за авторством: Бушма , А.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Повышение эффективности дуговой составляющей лазерно-дугового разряда
за авторством: Бушма, А.И., та інші
Опубліковано: (2016)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ДУГОВОЙ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ ЛАЗЕРНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА
за авторством: Бушма , А.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Характер работы графитовых катодов с повышенной стабильностью дугового разряда
за авторством: Омаров, А. О., та інші
Опубліковано: (2004)

Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

НЕМОНОТОННОСТЬ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ДУГОВОГО РАЗРЯДА, ОБУСЛОВЛЕННАЯ ЭФФЕКТАМИ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ
за авторством: Жовтянский, В.А., та інші
Опубліковано: (2019)

НЕМОНОТОННОСТЬ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ДУГОВОГО РАЗРЯДА, ОБУСЛОВЛЕННАЯ ЭФФЕКТАМИ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ
за авторством: Жовтянский, В.А., та інші
Опубліковано: (2019)

Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2009)

CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
за авторством: Суджанская, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Получение борида алюминия в плазме сильноточного импульсного дугового разряда
за авторством: Пак, А.Я., та інші
Опубліковано: (2017)

Многослойные конструкции повышенной трещиностойкости, сформированные сваркой взрывом
за авторством: Дидык, Р.П., та інші
Опубліковано: (2015)