Buchumschlag

Плазменное травление гетероструктур на основе нитрида галлия при изготовлении оптоэлектронных устройств

Отработаны технологические режимы анизотропного травления многослойных структур на базе GaN для нужд современной оптоэлектроники с использованием комбинированного индукционно-емкостного разряда в смеси метана с водородом. Получена скорость травления до 100 нм/мин и селективность относительно S...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2006
1. Verfasser:	Дудин, С.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98790
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Плазменное травление гетероструктур на основе нитрида галлия при изготовлении оптоэлектронных устройств / С.В. Дудин // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 117–123. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
von: Борисенко, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Фотоэлектрические преобразователи на основе пористого арсенида галлия
von: Кирилаш, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Неразрушающий контроль качественных параметров металлических поверхностей на основе оптоэлектронных датчиков
von: Тожиев, Р.Ж., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Плазменное упрочнение лезвийного почвообрабатывающего инструмента
von: Самотугин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании
von: Филатов, Ю.Д.
Veröffentlicht: (2018)

Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Травление поверхности металлов в плазме аргона
von: Капустин, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Методика определения содержания галлия в сплаве на основе кремния
von: Пироженко, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование анизотропии поверхности поликристаллического покрытия нитрида галлия на туннельном микроскопе, оснащенном острием из алмаза, легированного бором
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2016)

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ФОТОПРИЕМНОГО УСТРОЙСТВА НА ОСНОВЕ ЛАВИННОГО ФОТОДИОДА ДЛЯ ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Исследование высокочувствительного фотоприемного устройства на основе лавинного фотодиода для оптоэлектронных измерительных систем
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных многокомпонентныхпокрытий на термолабильные материалы
von: Осипов, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Магнитный контроль при изготовлении сварных баллонов
von: Лобанов, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структуры на основе гетероперехода "кремний—арсенид галлия" для интегральных оптронов
von: Терлецкая, Л.Л., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Солнечные элементы на основе тандемных гетероструктур GaAs-InGaAs-AlGaAs
von: Круковский, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Модули солнечных элементов на основе тандемных гетероструктур GaAs-InGaAs-AlGaAs
von: Круковский, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Применение нитроцеллюлозных лаков при изготовлении влажных макроскопических препаратов
von: Богачук, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (1978)

Применение дуговой точечной сварки при изготовлении кузовов вагонов
von: Ткаченко, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Системы верификации на основе реконфигурируемых устройств
von: Палагин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Лазерно-плазменное ускорение сгустка электронов, инжектируемых перед лазерным импульсом, генерирующим кильватерную волну
von: Кузнецов, С.В.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние изовалентного легирования висмутом на свойства эпитаксиального арсенида галлия
von: Шутов, С.В.
Veröffentlicht: (1999)

Изучение теплопроводности композиционных материалов на основе алмаза, кубического нитрида бора, карбида вольфрама и нитрида алюминия
von: Осипов, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
von: Филатов, Ю.Д.
Veröffentlicht: (2018)

Обзор мирового рынка арсенида галлия
von: Наумов, А.В.
Veröffentlicht: (2005)

Синтез гексаметилдисилазанатов алюминия, галлия, индия
von: Мазуренко, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Омические контакты к материалам на основе нитрида индия
von: Sai, P. O.
Veröffentlicht: (2016)

Термодинамический анализ шлаковых расплавов при изготовлении сварочных плавленых флюсов
von: Жданов, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Фоторефрактивные кристаллы в запоминающих устройствах оптоэлектронных процессоров корреляционного типа
von: Липинский, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Радиационное легирование сульфида кадмия и арсенида галлия
von: Мокрицкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Результаты внедрения орбитальной сварки при изготовлении и ремонте тонкостенных трубопроводов
von: Жеманюк, П.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Триботехнические характеристики сверхтвердых материалов на основе кубического нитрида бора
von: Адамовский, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Підвищення ефективності світлодіодних гетероструктур на основі нітриду галія
von: Яворський, І.О., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Развитие научно-производственной базы при изготовлении электродной продукции на ОАО «Украинский графит»
Veröffentlicht: (2008)

Прогнозирование качества электронных устройств на основе нечеткой логики
von: Вершинина, Л.П.
Veröffentlicht: (1998)

Исследование методов построения вычислительных устройств на основе FPGA
von: Жабин, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Структурные превращения при формировании сверхтвердых материалов на основе исходных порошков вюртцитного нитрида бора
von: Олейник, Г.С.
Veröffentlicht: (2012)

Современные тенденции в изготовлении и эксплуатации прокатных валков
von: Балаклеец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)