Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

• Опубліковано в: : Физическая инженерия поверхности
• Дата: 2006
• Автори: Шулаев, В.М., Андреев, А.А., Руденко, В.П.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплитудами импульса. Модернизированная установка пригодна для модификации поверхности изделий из инструментальных и конструкционных сталей, алюминиевых и медных сплавов. Осаждение покрытий на предварительно азотированную поверхность стальных изделий позволяет получать покрытия в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С и обеспечивать дуплексную модификацию поверхности изделий. Запропоновано модернізацію вакуумно-дугових установок, у тому числі типу “Булат” і ННВ 6.6, для реалізації методу плазмової іонної імплантації та осадження (метод PBІІ&D). Процеси іонного азотування виробів і наступного осадження покриттів здійснюються при подаванні до оброблюваного виробу постійного і високовольтного імпульсного потенціалів з різними частотами й амплітудами імпульсу. Модернізована установка придатна для модифікації поверхні виробів з інструментальних і конструкційних сталей, алюмінієвих і мідних сплавів. Осадження покриттів на попередньо азотовану поверхню сталевих виробів дозволяє одержувати покриття в діапазоні температури від 100 до 500 °С та забезпечувати дуплексну модифікацію поверхні виробів. Improvement of vacuum-arc equipment, including “Bulat” and HHB 6.6, for realization method of ion implantation and deposition (method PBH&D) was proposed. Processes of ion nitration of treated items and following deposition coatings occur via dc- and high-voltage pulse potential bias of different frequence and amplitude. Improved equipment is proper for surface modifications of rapid and construction steels, aluminium and copper alloys. Deposition on preliminary nitrated surface of steel items permits obtaining coatings in the interval 100 ÷ 500 °C and produce duplex modification of items.