Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому издели...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98792 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Шулаев, В.М. Андреев, А.А. Руденко, В.П. 2016-04-17T19:37:08Z 2016-04-17T19:37:08Z 2006 Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792 Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплитудами импульса. Модернизированная установка пригодна для модификации поверхности изделий из инструментальных и конструкционных сталей, алюминиевых и медных сплавов. Осаждение покрытий на предварительно азотированную поверхность стальных изделий позволяет получать покрытия в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С и обеспечивать дуплексную модификацию поверхности изделий. Запропоновано модернізацію вакуумно-дугових установок, у тому числі типу “Булат” і ННВ 6.6, для реалізації методу плазмової іонної імплантації та осадження (метод PBІІ&D). Процеси іонного азотування виробів і наступного осадження покриттів здійснюються при подаванні до оброблюваного виробу постійного і високовольтного імпульсного потенціалів з різними частотами й амплітудами імпульсу. Модернізована установка придатна для модифікації поверхні виробів з інструментальних і конструкційних сталей, алюмінієвих і мідних сплавів. Осадження покриттів на попередньо азотовану поверхню сталевих виробів дозволяє одержувати покриття в діапазоні температури від 100 до 500 °С та забезпечувати дуплексну модифікацію поверхні виробів. Improvement of vacuum-arc equipment, including “Bulat” and HHB 6.6, for realization method of ion implantation and deposition (method PBH&D) was proposed. Processes of ion nitration of treated items and following deposition coatings occur via dc- and high-voltage pulse potential bias of different frequence and amplitude. Improved equipment is proper for surface modifications of rapid and construction steels, aluminium and copper alloys. Deposition on preliminary nitrated surface of steel items permits obtaining coatings in the interval 100 ÷ 500 °C and produce duplex modification of items. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения Модернізація вакуумно-дугових установок для синтезу покриттів та азотування методом іонної імплантації і осадження Improvement of vacuum-arc equipment for nitration and coating synthesis by means of ion implantation and deposition Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения |
| spellingShingle |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения Шулаев, В.М. Андреев, А.А. Руденко, В.П. |
| title_short |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения |
| title_full |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения |
| title_fullStr |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения |
| title_full_unstemmed |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения |
| title_sort |
модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения |
| author |
Шулаев, В.М. Андреев, А.А. Руденко, В.П. |
| author_facet |
Шулаев, В.М. Андреев, А.А. Руденко, В.П. |
| publishDate |
2006 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Модернізація вакуумно-дугових установок для синтезу покриттів та азотування методом іонної імплантації і осадження Improvement of vacuum-arc equipment for nitration and coating synthesis by means of ion implantation and deposition |
| description |
Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6,
для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются
при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного
потенциалов с различными частотами и амплитудами импульса. Модернизированная установка
пригодна для модификации поверхности изделий из инструментальных и конструкционных
сталей, алюминиевых и медных сплавов. Осаждение покрытий на предварительно азотированную поверхность стальных изделий позволяет получать покрытия в диапазоне температуры
подложки от 100 до 500 °С и обеспечивать дуплексную модификацию поверхности изделий.
Запропоновано модернізацію вакуумно-дугових
установок, у тому числі типу “Булат” і ННВ 6.6,
для реалізації методу плазмової іонної імплантації та осадження (метод PBІІ&D). Процеси іонного азотування виробів і наступного осадження
покриттів здійснюються при подаванні до оброблюваного виробу постійного і високовольтного імпульсного потенціалів з різними частотами
й амплітудами імпульсу. Модернізована установка придатна для модифікації поверхні виробів з
інструментальних і конструкційних сталей, алюмінієвих і мідних сплавів. Осадження покриттів
на попередньо азотовану поверхню сталевих виробів дозволяє одержувати покриття в діапазоні
температури від 100 до 500 °С та забезпечувати
дуплексну модифікацію поверхні виробів.
Improvement of vacuum-arc equipment, including
“Bulat” and HHB 6.6, for realization method of ion
implantation and deposition (method PBH&D) was
proposed. Processes of ion nitration of treated items
and following deposition coatings occur via dc- and
high-voltage pulse potential bias of different frequence
and amplitude. Improved equipment is proper
for surface modifications of rapid and construction
steels, aluminium and copper alloys. Deposition on
preliminary nitrated surface of steel items permits
obtaining coatings in the interval 100 ÷ 500 °C and
produce duplex modification of items.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792 |
| citation_txt |
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT šulaevvm modernizaciâvakuumnodugovyhustanovokdlâsintezapokrytiiiazotirovaniâmetodomionnoiimplantaciiiosaždeniâ AT andreevaa modernizaciâvakuumnodugovyhustanovokdlâsintezapokrytiiiazotirovaniâmetodomionnoiimplantaciiiosaždeniâ AT rudenkovp modernizaciâvakuumnodugovyhustanovokdlâsintezapokrytiiiazotirovaniâmetodomionnoiimplantaciiiosaždeniâ AT šulaevvm modernízacíâvakuumnodugovihustanovokdlâsintezupokrittívtaazotuvannâmetodomíonnoíímplantacíííosadžennâ AT andreevaa modernízacíâvakuumnodugovihustanovokdlâsintezupokrittívtaazotuvannâmetodomíonnoíímplantacíííosadžennâ AT rudenkovp modernízacíâvakuumnodugovihustanovokdlâsintezupokrittívtaazotuvannâmetodomíonnoíímplantacíííosadžennâ AT šulaevvm improvementofvacuumarcequipmentfornitrationandcoatingsynthesisbymeansofionimplantationanddeposition AT andreevaa improvementofvacuumarcequipmentfornitrationandcoatingsynthesisbymeansofionimplantationanddeposition AT rudenkovp improvementofvacuumarcequipmentfornitrationandcoatingsynthesisbymeansofionimplantationanddeposition |
| first_indexed |
2025-12-07T20:15:38Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:15:38Z |
| _version_ |
1850881908230062080 |