Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2006
• Main Authors: Шулаев, В.М., Андреев, А.А., Руденко, В.П.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6,
 для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются
 при приложении к об...