Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6,
 для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются
 при приложении к об...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | Шулаев, В.М., Андреев, А.А., Руденко, В.П. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Формирование вакуумно-дуговых нитридных покрытий на основе молибдена, содержащих серу
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)
Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
за авторством: Гриценко, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Гриценко, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
за авторством: Столбовой, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Столбовой, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)
Рецензия на монографию: «Техника осаждения вакуумно-дуговых покрытий». И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.А. Белоус. ННЦ «Харьковский физико-технический институт», Харьков, 2014. 280 с.
за авторством: Ошкадёров, С.П.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ошкадёров, С.П.
Опубліковано: (2015)
Состав, структура и триботехнические свойства вакуумно-дуговых однослойных TiN, MoN и многослойных TiN/MoN покрытий
за авторством: Бондар, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Бондар, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние ионной имплантации на напряженно – деформированное состояние режущей части инструмента
за авторством: Ласуков, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ласуков, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Механические свойства наноструктурированных покрытий (Ti, Al)N и (Ti, Cr)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2014)
Износостойкость и жаростойкость вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN и TiAlN с добавками Si и Y
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Модернизация установок пожаротушения на АЭС Украины
за авторством: Резвик, И.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Резвик, И.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
за авторством: Фодчук, И.М., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Фодчук, И.М., та інші
Опубліковано: (2013)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние плазменной обработки и ионной имплантации на свойства и структурно-фазовые изменения в титановых сплавах
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Упругие волны, возбуждаемые при ионной имплантации, и их влияние на процессы в облучаемом веществе
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2016)
Формирование неоднородной структуры в приповерхностных слоях NiTi в результате ионной имплантации
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
Схожі ресурси
-
О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007) -
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006) -
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013) -
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011) -
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)