Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа “Булат” и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому издели...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98792 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 136–142. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |