Buchumschlag

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

В данной работе представлены результаты экспериментального исследования ВЧ емкостного разряда в SF₆, NF₃ и SiH₄ низкого давления. У роботі наведено результати експериментального дослідження ВЧ ємнісного розряду у SF₆, NF₃ та SiH₄ низького тиску. This paper presents the results of experimental stud...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2006
1. Verfasser:	Лисовский, В.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98793
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України / В.А. Лисовский // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 143–168. — Бібліогр.: 77 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Условия появления нормального режима разряда постоянного тока низкого давления
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
von: Зыков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
von: Бизюков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Пробой и поддержание разряда в газе низкого давления СВЧ-излучением со стохастически прыгающей фазой (i)
von: Карась, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Потоки плазмы стационарной дуги низкого давления
von: Хороших, В.М.
Veröffentlicht: (2005)

Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
von: Гриценко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Азотирование сталей в газовом дуговом разряде низкого давления
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Модификация полиэтилена низкого давления в присутствии 9, 10-фенантренхинона
von: Пацула, О.В., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
von: Афанасьева, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

О выборе формы проточной части высоконагруженной турбины низкого давления
von: Хомылев, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Очистка воды от нитратов методом обратного осмоса низкого давления
von: Гончарук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Разряд низкого давления, индуцированный микроволновым излучением со стохастическими скачками фазы
von: Алисов, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Пространственное распределение потоков частиц в стационарном дуговом разряде низкого давления
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
von: Фареник, В.И.
Veröffentlicht: (2004)

Очистка вод, содержащих фтор, обратным осмосом низкого давления для их комплексной переработки
von: Гончарук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Активное сопротивление факельного разряда и частотная зависимость наименьшего для его поддержания напряжения ВЧ-генератора
von: Пузанов, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления
von: Хороших, В.М.
Veröffentlicht: (2004)

Модифицированный закон Пашена для зажигания разряда постоянного тока
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2006)

Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
von: Крышталь, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Нестационарная стадия тлеющего разряда при положительной полярности атмосферного давления
von: Бруев, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Экспериментальное исследование условий стратификации разряда постоянного тока в азоте
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

О пробое в коаксиальном волноводе атомарного газа низкого давления микроволновым излучением со стохастически прыгающей фазой
von: Загребельный, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Гладковский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Малозатратная модернизация цилиндра низкого давления турбины К-300-240 с учетом переменного режима функционирования турбоагрегата
von: Тарелин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование явления запаздывания зажигания высоковольтного тлеющего разряда для повышения рабочего давления газоразрядных электронных пушек
von: Тутык, В.А.
Veröffentlicht: (2008)

Экспериментальное исследование затрудненного тлеющего разряда постоянного тока в азоте
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О термодинамической трактовке давления Лапласа
von: Лисовский, А.Ф.
Veröffentlicht: (2010)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2009)

Свойства диспергирующих альвеновских волн. 1. Кинетика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
von: Маловичко, П.П.
Veröffentlicht: (2013)

Свойства диспергирующих альвеновских волн. 3. Гидродинамика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
von: Маловичко, П.П.
Veröffentlicht: (2014)

Разработка мероприятий по повышению эффективности части низкого давления турбины К-300-240 при работе в условиях энергорынка
von: Тарелин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние примесей меди на свойства плазмы и контракцию дугового разряда высокого давления
von: Порицкий, П.В.
Veröffentlicht: (2005)

Исследование индукционно-динамического двигателя, возбуждаемого от низковольтного емкостного накопителя
von: Болюх, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Подавление фототока ФЭУ внешним ВЧ-полем
von: Антонов, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Экспериментальное исследование зажигания и горения разряда постоянного тока при различных диаметрах анода
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О восстановлении характеристик канала подводного искрового разряда по временной зависимости давления в жидкости
von: Барбашова, Г.А.
Veröffentlicht: (2007)