Зображення обкладинки

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

В данной работе представлены результаты экспериментального исследования ВЧ емкостного разряда в SF₆, NF₃ и SiH₄ низкого давления. У роботі наведено результати експериментального дослідження ВЧ ємнісного розряду у SF₆, NF₃ та SiH₄ низького тиску. This paper presents the results of experimental stud...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2006
Автор:	Лисовский, В.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98793
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України / В.А. Лисовский // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 143–168. — Бібліогр.: 77 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Условия появления нормального режима разряда постоянного тока низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Потоки плазмы стационарной дуги низкого давления
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2005)

Модификация полиэтилена низкого давления в присутствии 9, 10-фенантренхинона
за авторством: Пацула, О.В., та інші
Опубліковано: (1983)

Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
за авторством: Афанасьева, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Очистка воды от нитратов методом обратного осмоса низкого давления
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Разряд низкого давления, индуцированный микроволновым излучением со стохастическими скачками фазы
за авторством: Алисов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
за авторством: Фареник, В.И.
Опубліковано: (2004)

Очистка вод, содержащих фтор, обратным осмосом низкого давления для их комплексной переработки
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2004)

Активное сопротивление факельного разряда и частотная зависимость наименьшего для его поддержания напряжения ВЧ-генератора
за авторством: Пузанов, А.О., та інші
Опубліковано: (2014)

Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
за авторством: Крышталь, П.Г., та інші
Опубліковано: (2006)

Модифицированный закон Пашена для зажигания разряда постоянного тока
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Нестационарная стадия тлеющего разряда при положительной полярности атмосферного давления
за авторством: Бруев, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

О пробое в коаксиальном волноводе атомарного газа низкого давления микроволновым излучением со стохастически прыгающей фазой
за авторством: Загребельный, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Малозатратная модернизация цилиндра низкого давления турбины К-300-240 с учетом переменного режима функционирования турбоагрегата
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Экспериментальное исследование условий стратификации разряда постоянного тока в азоте
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование явления запаздывания зажигания высоковольтного тлеющего разряда для повышения рабочего давления газоразрядных электронных пушек
за авторством: Тутык, В.А.
Опубліковано: (2008)

Экспериментальное исследование затрудненного тлеющего разряда постоянного тока в азоте
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)

Свойства диспергирующих альвеновских волн. 1. Кинетика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2013)

Свойства диспергирующих альвеновских волн. 3. Гидродинамика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2014)

Разработка мероприятий по повышению эффективности части низкого давления турбины К-300-240 при работе в условиях энергорынка
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

О термодинамической трактовке давления Лапласа
за авторством: Лисовский, А.Ф.
Опубліковано: (2010)

Аналитические зависимости выходного напряжения диодно-емкостного моста при выделении составляющих проводимости
за авторством: Половинка, Д.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

ВЕРОЯТНОСТЬ «СРЕЗА» ИМПУЛЬСОВ ТОКА В КОНТУРЕ ЕМКОСТНОГО НАКОПИТЕЛЯ ЭНЕРГИИ С ВАКУУМНЫМ РАЗРЯДНИКОМ
за авторством: Лютенко , Л.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Подавление фототока ФЭУ внешним ВЧ-полем
за авторством: Антонов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Применение методов электротехники для расчёта тепловых режимов солнечных нагревателей воды ёмкостного типа
за авторством: Ермуратский, В., та інші
Опубліковано: (2014)

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ ЭЛЕКТРОТЕХНИКИ ДЛЯ РАСЧЁТА ТЕПЛОВЫХ РЕЖИМОВ СОЛНЕЧНЫХ НАГРЕВАТЕЛЕЙ ВОДЫ ЁМКОСТНОГО ТИПА
за авторством: Ермуратский , В., та інші
Опубліковано: (2014)

Экспериментальное исследование зажигания и горения разряда постоянного тока при различных диаметрах анода
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Анализ структуры парового потока в области отбора цилиндра низкого давления паровой турбины мощностью 225 МВт с модернизированной проточной частью
за авторством: Шиманяк, М., та інші
Опубліковано: (2016)

Уменьшение систематической погрешности емкостного датчика биений вала за счет изменения формы активного электрода
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Новые разработки ВЧ-фокусировки пучков ионов
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
за авторством: Лисовский, В., та інші
Опубліковано: (2005)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Взаимодействие солитонов с локализованным ВЧ полем
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2009)