Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2006
• Main Author: Лисовский, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98793
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України / В.А. Лисовский // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 143–168. — Бібліогр.: 77 назв. — рос.

В данной работе представлены результаты экспериментального исследования ВЧ емкостного разряда в SF₆, NF₃ и SiH₄ низкого давления. У роботі наведено результати експериментального дослідження ВЧ ємнісного розряду у SF₆, NF₃ та SiH₄ низького тиску. This paper presents the results of experimental stud...