APA (7th ed.) Citation

Дудин, С. (2006). Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда. Физическая инженерия поверхности.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Дудин, С.В. "Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда." Физическая инженерия поверхности 2006.

MLA (8th ed.) Citation

Дудин, С.В. "Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда." Физическая инженерия поверхности, 2006.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.