Дудин, С. (2006). Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда. Физическая инженерия поверхности.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Дудин, С.В. "Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда." Физическая инженерия поверхности 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Дудин, С.В. "Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда." Физическая инженерия поверхности, 2006.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.