Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2006
• Main Author: Дудин, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98794
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда / С.В. Дудин // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 169–173. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Описана система автоматического мониторинга технологического процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда, позволяющая в условиях
 интенсивных ВЧ помех измерять основные параметры процесса, отображать на экране компьютера их текущие значения и временные за...