Зображення обкладинки

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда

Описана система автоматического мониторинга технологического процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда, позволяющая в условиях интенсивных ВЧ помех измерять основные параметры процесса, отображать на экране компьютера их текущие значения и временные за...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2006
Автор:	Дудин, С.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98794
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда / С.В. Дудин // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 169–173. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А.
Опубліковано: (2006)

Идентификационный метод оперативного контроля процесса численного решения дифференциальных уравнений
за авторством: Верлань, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2018)

Автоматизированная система радиационного контроля как основная составляющая радиационной безопасности населения
за авторством: Витько, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Автоматизированная система контроля расхода дутья по воздушным фурмам доменной печи
за авторством: Можаренко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Автоматизированная система стенографирования
за авторством: Кривонос, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Автоматизированная система контроля и учета загрузки шихтовых материалов в доменном производстве
за авторством: Карасевич, А.В.
Опубліковано: (2014)

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
за авторством: Гриценко, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Автоматизированная система релаксационной спектроскопии
за авторством: Пилипенко, А.Н.
Опубліковано: (2013)

Автоматизированная система сейсмологических наблюдений
за авторством: Дядюра, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Автоматизированная система диагностики промышленного оборудования
за авторством: Варфоломеев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2006)

Автоматизированная система управления межбанковскими операциями
за авторством: Фабричев, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Автоматизированная система управления досмотрового радиометрического комплекса для контроля крупногабаритных автотранспортных средств и грузов
за авторством: Гавриш, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Автоматизированная система контроля и управления ядерной подкритической установкой: описание системы и предварительные экспертные оценки
за авторством: Калногуз, А.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Автоматизированная система контроля температуры обмоток линз трубок дрейфа начальной части линейного ускорителя ИЯИ РАН
за авторством: Грехов, О.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Автоматизированная информационная система технологического процесса прокатки (АИСТПП) 4-клетевого стана цеха холодной прокатки
за авторством: Келий, Н.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Автоматизированная система дефектоскопии ответственных деталей гидронасоса
за авторством: Гамалий, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)

Автоматизированная система расчета параметров шлаков ЭШП
за авторством: Иванова, О.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Математическое моделирование процесса индукционного нагрева составных пьезокерамических преобразователей
за авторством: Гонтовой, С.В.
Опубліковано: (1998)

Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Голишников, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Автоматизированная система подготовки информации для изготовления фотошаблонов
за авторством: Шестаков, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Автоматизированная система: база данных «Криворожская СГ-8»
за авторством: Шеремет, Е.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Моделирование процесса индукционного нагрева труб в зоне сварного шва
за авторством: Черных, И.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Математическая модель плазменно-индукционного процесса выращивания монокристаллов тугоплавких металлов
за авторством: Гниздыло, А.Н., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование процесса травления горячекатаного полосового проката в турбулентном потоке солянокислотных травильных растворов
за авторством: Шевченко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Активное сопротивление факельного разряда и частотная зависимость наименьшего для его поддержания напряжения ВЧ-генератора
за авторством: Пузанов, А.О., та інші
Опубліковано: (2014)

Автоматизированная система определения глубины выгорания отработавшего ядерного топлива
за авторством: Mokritskii, V. A., та інші
Опубліковано: (2014)

Автоматизированная система регистрации циклов при вибрационных испытаниях образца
за авторством: Usov, V. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Автоматизированная система наблюдения и поиска горнорабочих в шахте
за авторством: Гаевская, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Автоматизированная система анализа электрокардиограмм на основе вейвлет-технологий
за авторством: Дубровин, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)