Buchumschlag

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда

Описана система автоматического мониторинга технологического процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда, позволяющая в условиях интенсивных ВЧ помех измерять основные параметры процесса, отображать на экране компьютера их текущие значения и временные за...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2006
ISSN:	1999-8074
1. Verfasser:	Дудин, С.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98794
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда / С.В. Дудин // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 169–173. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2009)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
von: Polozov, B. P., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
von: Semyonova, S. E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Гладковский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
von: Лисовский, В.А.
Veröffentlicht: (2006)

Идентификационный метод оперативного контроля процесса численного решения дифференциальных уравнений
von: Верлань, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Автоматизированная система радиационного контроля как основная составляющая радиационной безопасности населения
von: Витько, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Автоматизированная система контроля расхода дутья по воздушным фурмам доменной печи
von: Можаренко, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Автоматизированная система стенографирования
von: Кривонос, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Автоматизированная система контроля и учета загрузки шихтовых материалов в доменном производстве
von: Карасевич, А.В.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
von: Гладковский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Автоматизированная система релаксационной спектроскопии
von: Пилипенко, А.Н.
Veröffentlicht: (2013)

Автоматизированная система сейсмологических наблюдений
von: Дядюра, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
von: Гриценко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Автоматизированная система управления досмотрового радиометрического комплекса для контроля крупногабаритных автотранспортных средств и грузов
von: Гавриш, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Автоматизированная система диагностики промышленного оборудования
von: Варфоломеев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Автоматизированная система управления межбанковскими операциями
von: Фабричев, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Автоматизированная система контроля и управления ядерной подкритической установкой: описание системы и предварительные экспертные оценки
von: Калногуз, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Автоматизированная система контроля температуры обмоток линз трубок дрейфа начальной части линейного ускорителя ИЯИ РАН
von: Грехов, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Автоматизированная информационная система технологического процесса прокатки (АИСТПП) 4-клетевого стана цеха холодной прокатки
von: Келий, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Автоматизированная система дефектоскопии ответственных деталей гидронасоса
von: Гамалий, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Автоматизированная система расчета параметров шлаков ЭШП
von: Иванова, О.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Математическое моделирование процесса индукционного нагрева составных пьезокерамических преобразователей
von: Гонтовой, С.В.
Veröffentlicht: (1998)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Голишников, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Автоматизированная система подготовки информации для изготовления фотошаблонов
von: Шестаков, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Автоматизированная система: база данных «Криворожская СГ-8»
von: Шеремет, Е.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Моделирование процесса индукционного нагрева труб в зоне сварного шва
von: Черных, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Математическая модель плазменно-индукционного процесса выращивания монокристаллов тугоплавких металлов
von: Гниздыло, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Исследование процесса травления горячекатаного полосового проката в турбулентном потоке солянокислотных травильных растворов
von: Шевченко, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Активное сопротивление факельного разряда и частотная зависимость наименьшего для его поддержания напряжения ВЧ-генератора
von: Пузанов, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Автоматизированная система определения глубины выгорания отработавшего ядерного топлива
von: Mokritskii, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Автоматизированная система регистрации циклов при вибрационных испытаниях образца
von: Usov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Автоматизированная система наблюдения и поиска горнорабочих в шахте
von: Гаевская, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Автоматизированная система анализа электрокардиограмм на основе вейвлет-технологий
von: Дубровин, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)