Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2006
• Main Authors: Турбин, П.В., Береснев, В.М., Швец, О.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98800
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения / П.В. Турбин, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 198–202. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Показана возможность формирования нанокристаллических покрытий вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения. Изучены свойства покрытий ZrN, (TiAl)N, а также NbN + Al₂O₃. Полученные нанокристаллические покрытия (TiAl)N с содержанием Al 16 ат.% представляют собой однофазный раствор и...