Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
Показана возможность формирования нанокристаллических покрытий вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения. Изучены свойства покрытий ZrN, (TiAl)N, а также NbN + Al₂O₃. Полученные нанокристаллические покрытия (TiAl)N с содержанием Al 16 ат.% представляют собой однофазный раствор и...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98800 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения / П.В. Турбин, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 198–202. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |