Травление поверхности металлов в плазме аргона

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2007
• Main Authors: Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
 индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
 Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді
 аргону. Визначена залежність швидкості
 травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності
 потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the
 dependent high-frequency induction discharge of
 argon is investigated. The dependenct of an etching
 velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O
 from a chamber pressure in the induction discharge
 power and a potential on substrate is determined.