Травление поверхности металлов в плазме аргона

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2007
• Hauptverfasser: Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependenct of an etching velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on substrate is determined.