Травление поверхности металлов в плазме аргона
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
 индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
 Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обр...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862749304157896704 |
|---|---|
| author | Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| author_facet | Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| citation_txt | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке.
Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді
аргону. Визначена залежність швидкості
травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності
потенціалу на підкладинці.
The treatment process of a metals surface in the
dependent high-frequency induction discharge of
argon is investigated. The dependenct of an etching
velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O
from a chamber pressure in the induction discharge
power and a potential on substrate is determined.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:59:57Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98811 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:59:57Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. 2016-04-17T21:53:46Z 2016-04-17T21:53:46Z 2007 Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811 621.793.14 Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
 индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
 Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді
 аргону. Визначена залежність швидкості
 травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності
 потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the
 dependent high-frequency induction discharge of
 argon is investigated. The dependenct of an etching
 velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O
 from a chamber pressure in the induction discharge
 power and a potential on substrate is determined. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Травление поверхности металлов в плазме аргона Травлення поверхні металів у плазмі аргону Pickling to surfaces of metal in plasma of the argon Article published earlier |
| spellingShingle | Травление поверхности металлов в плазме аргона Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| title | Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_alt | Травлення поверхні металів у плазмі аргону Pickling to surfaces of metal in plasma of the argon |
| title_full | Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_fullStr | Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full_unstemmed | Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_short | Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_sort | травление поверхности металлов в плазме аргона |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811 |
| work_keys_str_mv | AT kapustinvl travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT koržaf travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT širokovbm travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT kapustinvl travlennâpoverhnímetalívuplazmíargonu AT koržaf travlennâpoverhnímetalívuplazmíargonu AT širokovbm travlennâpoverhnímetalívuplazmíargonu AT kapustinvl picklingtosurfacesofmetalinplasmaoftheargon AT koržaf picklingtosurfacesofmetalinplasmaoftheargon AT širokovbm picklingtosurfacesofmetalinplasmaoftheargon |