Травление поверхности металлов в плазме аргона
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні ме...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98811 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. 2016-04-17T21:53:46Z 2016-04-17T21:53:46Z 2007 Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811 621.793.14 Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependenct of an etching velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on substrate is determined. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Травление поверхности металлов в плазме аргона Травлення поверхні металів у плазмі аргону Pickling to surfaces of metal in plasma of the argon Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| spellingShingle |
Травление поверхности металлов в плазме аргона Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| title_short |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_fullStr |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full_unstemmed |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_sort |
травление поверхности металлов в плазме аргона |
| author |
Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| author_facet |
Капустин, В.Л. Корж, А.Ф. Широков, Б.М. |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Травлення поверхні металів у плазмі аргону Pickling to surfaces of metal in plasma of the argon |
| description |
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке.
Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді
аргону. Визначена залежність швидкості
травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності
потенціалу на підкладинці.
The treatment process of a metals surface in the
dependent high-frequency induction discharge of
argon is investigated. The dependenct of an etching
velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O
from a chamber pressure in the induction discharge
power and a potential on substrate is determined.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811 |
| citation_txt |
Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kapustinvl travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT koržaf travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT širokovbm travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT kapustinvl travlennâpoverhnímetalívuplazmíargonu AT koržaf travlennâpoverhnímetalívuplazmíargonu AT širokovbm travlennâpoverhnímetalívuplazmíargonu AT kapustinvl picklingtosurfacesofmetalinplasmaoftheargon AT koržaf picklingtosurfacesofmetalinplasmaoftheargon AT širokovbm picklingtosurfacesofmetalinplasmaoftheargon |
| first_indexed |
2025-12-07T20:59:57Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:59:57Z |
| _version_ |
1850884696677810176 |