Травление поверхности металлов в плазме аргона - Капустин, В.Л.; Корж, А.Ф.; Широков, Б.М. (Физическая инженерия поверхности, 2007)
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді
аргону. Визначена залежність швидкості
травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності
потенціалу на підкладинці. The treatment process of a metals surface in the
dependent high-frequency induction discharge of
argon is investigated. The dependenct of an etching
velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O
from a chamber pressure in the induction discharge
power and a potential on substrate is determined.