Травление поверхности металлов в плазме аргона

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні ме...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2007
Автори:	Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Травление поверхности металлов в плазме аргона
за авторством: Капустин, В.Л., та інші
Опубліковано: (2001)

Химическое травление поверхности кристаллов ZnSe растворами H₂O₂–HBr–уксусная кислота
за авторством: Станецкая, А.С., та інші
Опубліковано: (2014)

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Борисенко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе I
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе II
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Дисперсные поглотители электромагнитных волн
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Когерентное взаимодействие. Дисперсные поглотители электромагнитных волн
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Стимуляция десорбции аргона примесью кислорода
за авторством: Белов, А.Г., та інші
Опубліковано: (2000)

Плазменное травление гетероструктур на основе нитрида галлия при изготовлении оптоэлектронных устройств
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)

Димеры фенола в матрицах аргона и неона
за авторством: Плохотниченко, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Модификация поверхности урана ионами титана, никеля, молибдена
за авторством: Дикий, Н.П., та інші
Опубліковано: (2001)

Уравнение состояния жидкого аргона в пределе высоких плотностей
за авторством: Бардик, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1998)

Дегазация алюминиевых сплавов продувкой аргона в магнитодинамической установке
за авторством: Фикссен, В.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Электронографическое исследование структурных превращений в свободных кластерах аргона
за авторством: Данильченко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)

Термолюминесценция твердого аргона:кинетический анализ кривой термовысвечивания
за авторством: Огурцов, А.Н., та інші
Опубліковано: (1996)

Континуальное излучение эксимерных комплексов в кристаллах аргона и неона
за авторством: Белов, А.Г., та інші
Опубліковано: (1998)

Методы исследования и контроля шероховатости поверхности металлов и сплавов
за авторством: Назаров, Ю.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

Пассивация поверхности высокочистых гранулированных металлов: цинка, кадмия, свинца
за авторством: Пироженко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Фокусировка релятивистских электронных сгустков при возбуждении кильватерного поля в плазме
за авторством: Киселёв, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
за авторством: Варшавская, И.Г., та інші
Опубліковано: (2011)

Низкотемпературная адсорбция газов на поверхности металлов (Обзор)
за авторством: Птушинский, Ю.Г.
Опубліковано: (2004)

Новый подход к исследованию спектров люминесценции свободных икосаэдрических и кристаллических нанокластеров аргона
за авторством: Доронин, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Процессы фазовой релаксации электронов в неупорядоченных пленках золота, подвергнутых облучению ионами аргона
за авторством: Белевцев, Б.И., та інші
Опубліковано: (1995)

Распространение электромагнитных волн в плазме солнечной короны
за авторством: Руткевич, Б.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Трансформация магнитозвуковых волн в космической плазме
за авторством: Войцеховская, А.Д., та інші
Опубліковано: (2003)

Экспериментальное исследование прохождения микроволнового излучения со стохастически прыгающей фазой (МВИСПФ) в сверхплотной плазме
за авторством: Алисов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)

Разделение зарядов и волны в плазме
за авторством: Орешко, А.Г.
Опубліковано: (2003)

Взаимодействие пылевых частиц в замагниченной плазме
за авторством: Гаврыш, Г.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Рэлеевские волны в полуограниченной магнитоактивной плазме твердого тела
за авторством: Аверков, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2007)

Параметрическое возбуждение нижнегибридных волн в магнитосферной плазме
за авторством: Федун, В.Н., та інші
Опубліковано: (2001)

Мазерная накачка модуляционно нестабильной волны в плазме
за авторством: Белкин, Е.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Потери энергии заряженных частиц в магнитоактивной плазме
за авторством: Балакирев, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Химическое травление монокристаллов PbTe и Pb1–xSnxTe растворами H₂O₂–HBr с использованием разной исходной концентрации HBr
за авторством: Маланич, Г.П., та інші
Опубліковано: (2015)

Нелинейные процессы в твердотельной плазме в полевом транзисторе
за авторством: Булах, А.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Генерация кинетических альвеновских волн в пылевой плазме
за авторством: Юхимук, А.К., та інші
Опубліковано: (2004)

Трансформация альвеновских МГД-волн в космической плазме
за авторством: Юхимук, А.К., та інші
Опубліковано: (2002)

Эффекты слабой локализации электронов в проводимости пленок золота, подвергнутых облучению ионами аргона
за авторством: Белевцев, Б.И., та інші
Опубліковано: (1995)

Электронография ГЦК-ГПУ перехода в кластерах аргона при изменении их размера
за авторством: Данильченко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Наблюдение сосуществования кристаллического и жидкоподобного состояний в кластерах аргона, допированных криптоном
за авторством: Данильченко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Размерные структурные превращения в кластерах аргона с осью симметрии пятого порядка
за авторством: Данильченко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)