Травление поверхности металлов в плазме аргона

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2007
• Main Authors: Капустин, В.Л., Корж, А.Ф., Широков, Б.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98811
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном
 индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали
 Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. Досліджено процес обр...