APA (7th ed.) Citation

Корж, А., Лонин, Ю., Пилипец, Ю., Хованский, Н., Шеремет, В., & Широков, Б. (2007). Установка для осаждения материалов из газовой фазы. Физическая инженерия поверхности.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Корж, А.Ф, Ю.Ф Лонин, Ю.О Пилипец, Н.А Хованский, В.И Шеремет, and Б.М Широков. "Установка для осаждения материалов из газовой фазы." Физическая инженерия поверхности 2007.

MLA (8th ed.) Citation

Корж, А.Ф, et al. "Установка для осаждения материалов из газовой фазы." Физическая инженерия поверхности, 2007.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.