Корж, А., Лонин, Ю., Пилипец, Ю., Хованский, Н., Шеремет, В., & Широков, Б. (2007). Установка для осаждения материалов из газовой фазы. Физическая инженерия поверхности.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Корж, А.Ф, Ю.Ф Лонин, Ю.О Пилипец, Н.А Хованский, В.И Шеремет, und Б.М Широков. "Установка для осаждения материалов из газовой фазы." Физическая инженерия поверхности 2007.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Корж, А.Ф, et al. "Установка для осаждения материалов из газовой фазы." Физическая инженерия поверхности, 2007.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.