Установка для осаждения материалов из газовой фазы
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. Розроблена установка для газо фазного осадження мате...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98819 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98819 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. 2016-04-17T22:03:27Z 2016-04-17T22:03:27Z 2007 Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98819 669.094.54:661.87.621:661.668 Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. Розроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора. The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by fowaround of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Установка для осаждения материалов из газовой фазы Установка для осадження матеріалів із газової фази Installation for gas-phase deposition of materials Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| spellingShingle |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| title_short |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_full |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_fullStr |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_full_unstemmed |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_sort |
установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| author |
Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| author_facet |
Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| publishDate |
2007 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Установка для осадження матеріалів із газової фази Installation for gas-phase deposition of materials |
| description |
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании
покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.
Розроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора.
The installation for gas-phase deposition of materials
is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas
mixture flow in the reaction volume by fowaround
of the surface being coated are evaluated.
The processes of tungsten and boron carbide deposition
are investigated.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98819 |
| citation_txt |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT koržaf ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovoifazy AT loninûf ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovoifazy AT pilipecûo ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovoifazy AT hovanskiina ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovoifazy AT šeremetvi ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovoifazy AT širokovbm ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovoifazy AT koržaf ustanovkadlâosadžennâmateríalívízgazovoífazi AT loninûf ustanovkadlâosadžennâmateríalívízgazovoífazi AT pilipecûo ustanovkadlâosadžennâmateríalívízgazovoífazi AT hovanskiina ustanovkadlâosadžennâmateríalívízgazovoífazi AT šeremetvi ustanovkadlâosadžennâmateríalívízgazovoífazi AT širokovbm ustanovkadlâosadžennâmateríalívízgazovoífazi AT koržaf installationforgasphasedepositionofmaterials AT loninûf installationforgasphasedepositionofmaterials AT pilipecûo installationforgasphasedepositionofmaterials AT hovanskiina installationforgasphasedepositionofmaterials AT šeremetvi installationforgasphasedepositionofmaterials AT širokovbm installationforgasphasedepositionofmaterials |
| first_indexed |
2025-12-07T16:48:16Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:48:16Z |
| _version_ |
1850868861629366272 |