Установка для осаждения материалов из газовой фазы - Корж, А.Ф.; Лонин, Ю.Ф.; Пилипец, Ю.О.; Хованский, Н.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М. (Физическая инженерия поверхности, 2007)
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании
покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. Розроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора. The installation for gas-phase deposition of materials
is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas
mixture flow in the reaction volume by fowaround
of the surface being coated are evaluated.
The processes of tungsten and boron carbide deposition
are investigated.