Установка для осаждения материалов из газовой фазы

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2007
• Main Authors: Корж, А.Ф., Лонин, Ю.Ф., Пилипец, Ю.О., Хованский, Н.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98819
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. Розроблена установка для газо фазного осадження мате...