Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
Метод ХРИ и деконволюционная процедура на основе алгоритма максимального правдоподобия была применена для неразрушающего 3D исследования образцов сплава Si-Ge, полученного методом CVD. Показано, что разработанная технология позволяет изучать локальное
 распределение элементов и определять пр...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | Ковальчук, И.К., Левенец, В.В., Омельник, А.П., Щур, А.А., Широков, Б.М. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98831 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD / И.К. Ковальчук, В.В. Левенец, А.П. Омельник, А.А. Щур, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 197–202. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Исследование состава и структуры пленок на основе Si-Ge сплавов ядерно-физическими методами анализа на пучках протонов
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок
von: Глушко, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Глушко, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Изучение возможности работы накопителя протонов ИЯИ РАН при низких энергиях
von: Моисеев, В.А.
Veröffentlicht: (2008)
von: Моисеев, В.А.
Veröffentlicht: (2008)
Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
von: Василенко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Василенко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Рубцевич, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Рубцевич, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Изучение защитных свойств ингибиторов трипсиноподобных протеиназ, полученных из отходов сывороточного производства
von: Дивоча, В.А.
Veröffentlicht: (2011)
von: Дивоча, В.А.
Veröffentlicht: (2011)
Определение элементного состава W-Re-сплавов по характеристическому рентгеновскому излучению К-оболочки атомов и γ-излучению из ядерных реакций
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Изучение содержания 3,4-бензпирена в почвенном покрове жилых территорий, подверженных техногенному загрязнению
von: Авраменко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Авраменко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Клонирование плазмидоподобных митохондриальных ДНК кукурузы и изучение некоторых свойств полученных рекомбинантных плазмид
von: Мартынов, С.А., et al.
Veröffentlicht: (1990)
von: Мартынов, С.А., et al.
Veröffentlicht: (1990)
Studying on a beam of protons film of alloy Si-Ge, received by method CVD
von: I. K. Kovalchuk, et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: I. K. Kovalchuk, et al.
Veröffentlicht: (2007)
Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
von: Курапов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Курапов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Аналитическое представление сечений ионизации К-оболочек лантаноидов ускоренными протонами
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Использование характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого протонами для определения элементного состава сплавов циркония методом фундаментальных параметров
von: Щур, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Щур, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Анализ редкоземельных элементов по характеристическому рентгеновскому излучению К-серии
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Определение профиля концентрации ниобия в цирконии по характеристическому рентгеновскому излучению, возбуждаемому протонами
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Физико-механические характаристики аморфных углеродных пленок, полученных из паров бензола
von: Грицкевич, Р.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Грицкевич, Р.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Спин-спиновая ЯМР релаксация протонов воды в силикагелях
von: Алексеев, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (1998)
von: Алексеев, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (1998)
Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
von: Чертопалов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Чертопалов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Определение пластических свойств тонких пленок по данным индентирования
von: Валеева, И.К., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Валеева, И.К., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Нейтронные поля в подкритическом реакторе, генерируемом пучком ускоренных протонов
von: Гусев, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Гусев, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
von: Севрюкова, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Севрюкова, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Структура и свойства тонколистовых соединений железоникелевого сплава 32НКА, полученных электронно-лучевой сваркой
von: Бондарев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Бондарев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Новая методика исследования транспорта протонов в органических ионообменных мембранах
von: Ткаченко, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Ткаченко, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Исследование системы GaSb+Bi методом обратного рассеяния протонов
von: Цымбал, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Цымбал, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)
О стохастической динамике протонов в солнечных магнитных петлях
von: Сенаторов, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (1991)
von: Сенаторов, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (1991)
Изучение свойств кальциетермического гафния
von: Афанасьев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (1999)
von: Афанасьев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (1999)
Механические свойства соединений алюминиевого сплава 1441, полученных при различных способах сварки
von: Покляцкий, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Покляцкий, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
von: Курапов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Курапов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Автоматизированная система магнитоиндукционного мониторирования пучка протонов линейного ускорителя ИЯИ РАН
von: Рейнгардт-Никулин, П., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Рейнгардт-Никулин, П., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
von: Ушенин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Ушенин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Применение метода усредненных резонансов (МУР) в реакциях захвата протонов низких энергий
von: Немашкало, Б.А.
Veröffentlicht: (1999)
von: Немашкало, Б.А.
Veröffentlicht: (1999)
Сравнение методов определения содержания йода в углероде, основанных на регистрации характеристического рентгеновского излучения
von: Омельник, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Омельник, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Анализ гадолиния в реакторных сталях ядерно-физическими методами
von: Омельник, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Омельник, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Источник питания с малым коэффициентом пульсаций для инжектора протонов технологического ускорителя
von: Кривоносов, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Кривоносов, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Изучение деформированного состояния при разнонаправленной обработке Nb-Ti-сплава
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Cyclic twins of CVD diamond crystals
von: V. M. Kvasnytsia, et al.
Veröffentlicht: (2019)
von: V. M. Kvasnytsia, et al.
Veröffentlicht: (2019)
Ähnliche Einträge
-
Исследование состава и структуры пленок на основе Si-Ge сплавов ядерно-физическими методами анализа на пучках протонов
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010) -
Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014) -
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012) -
Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок
von: Глушко, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2014) -
Изучение возможности работы накопителя протонов ИЯИ РАН при низких энергиях
von: Моисеев, В.А.
Veröffentlicht: (2008)