Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2007
• Main Authors: Андреев, А.А., Шулаев, В.М., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
 вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако
 заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в
 покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим,
 несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В
 покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует. Досліджено залежність твердості надтвердих
 вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту
 в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція
 до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених
 при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається
 відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі
 осадження. У покриттях, осаджених при тиску
 0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня. The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings
 has been investigated versus nitrogen pressure during
 deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It
 has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc
 TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced
 dependence on pressure, though there is a noticeable
 tendency for hardness to increase with pressure.
 The quantity of drop phase in the coatings deposited
 at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains
 relatively great despite the presence of high-voltage
 pulses on the substrate during deposition. In the coatings
 deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher,
 the drop phase is absent.