Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению тв...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859911625804349440 |
|---|---|
| author | Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. |
| author_facet | Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. |
| citation_txt | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако
заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в
покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим,
несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В
покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует.
Досліджено залежність твердості надтвердих
вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту
в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція
до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених
при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається
відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі
осадження. У покриттях, осаджених при тиску
0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня.
The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings
has been investigated versus nitrogen pressure during
deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It
has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc
TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced
dependence on pressure, though there is a noticeable
tendency for hardness to increase with pressure.
The quantity of drop phase in the coatings deposited
at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains
relatively great despite the presence of high-voltage
pulses on the substrate during deposition. In the coatings
deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher,
the drop phase is absent.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:02:49Z |
| format | Article |
| fulltext |
ФІП ФИП PSE, 2007, т. 5, № 3-4, vol. 5, No. 3-4 203
ВВЕДЕНИЕ
Вакуумно-дуговые TiN покрытия широко
применяются для увеличения износостой-
кости и коррозионной стойкости изделий, а
также улучшения их декоративных свойств.
Наибольшее распространение они получили
в машиностроении, где их применение на ре-
жущих инструментах из быстрорежущих ста-
лей и твердых сплавов позволило увеличить
их стойкость в 2 ÷ 6 и более раз [1].
Микротвердость TiN покрытий зависит от
давления азота в вакуумной камере в процес-
се осаждения. При увеличении давления азо-
та до 0,01 Па микротвердость покрытий мо-
нотонно возрастает до 35 ÷ 53 ГПа. С увели-
чением давления азота до ~0,5 Па микротвер-
дость покрытий снижается до 22 ÷ 25 ГПа,
они становятся монофазными (TiN), устой-
чивыми к износу при резании и эрозии, в них
существенно уменьшаются количество и раз-
меры капельной фазы [1, 2, 3]. При дальней-
шем увеличении давления твердость несколь-
ко увеличивается, а количество и размеры ка-
пель продолжают уменьшаться. При давле-
ниях р > 1 Па на внутренних поверхностях
вакуумной камеры осаждается полидисперс-
ная пыль с незначительной адгезией к этим
поверхностям. Рентгеноструктурный анализ
образцов, приготовленных из этой пыли, де-
монстрирует наличие фазы TiN. На подложке
при отрицательном потенциале пыль не оса-
ждается, видимо, вследствие кулоновского
отталкивания. При этом наблюдается сущест-
венное снижение скорости осаждения покры-
тия [4].
При изменении давления азота меняется
фазовый состав покрытий. При отсутствии
азота в камере покрытие представляет собой
α-Ti с кубической решеткой. По мере повы-
шения давления появляется фаза Ti2N c гекса-
гональной решеткой, а затем TiN c ГЦК-ре-
шеткой [5]. Область гомогенности фазы Ti2N
крайне узка, она образуется в узком диапазоне
давлений азота (около 0,01 Па). Поэтому в
этом диапазоне давлений покрытия обычно
состоят одновременно из смеси фаз Ti2N с
α-Ti или с TiN, при этом они имеют макси-
мальную микротвердость и большие внут-
ренние напряжения. Такие покрытия в качес-
тве износостойких практически неработо-
способны из-за их высокой хрупкости, выз-
ванной, вероятно, присутствием двух фаз, а
также из-за большого количества полидис-
персной капельной фазы. Необходимо отме-
тить, что физико-механические свойства та-
ких покрытий не стабильны, и при хранении
в течение года при комнатной температуре их
микротвердость снижается на 25 ÷ 30 %.
Оптимальная температура подложки, при
которой обеспечиваются указанные величи-
ны микротвердости и высокая адгезия покры-
тий TiN составляет 450 ÷ 500 °С. При сниже-
нии температуры подложки увеличивается
хрупкость покрытий, ухудшается адгезия, а
УДК: 621.793.7
ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ СВЕРХТВЕРДЫХ TiN
ПОКРЫТИЙ НА ИХ СВОЙСТВА
А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань*, В.А. Столбовой
Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
Украина
*Институт проблем материаловедения им. И.М. Францевича (Киев)
Украина
Поступила в редакцию 23.10.2007
Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от дав-
ления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако
заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в
покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим,
несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В
покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует.
ФІП ФИП PSE, 2007, т. 5, № 3-4, vol. 5, No. 3-4204
ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ СВЕРХТВЕРДЫХ TiN ПОКРЫТИЙ НА ИХ СВОЙСТВА
при температурах ниже 200 °С покрытие са-
мопроизвольно разрушается в процессе осаж-
дения, поскольку внутренние напряжения
превышают предел прочности.
Одним из путей снижения внутренних на-
пряжений в покрытиях и температуры под-
ложки является применение метода осаж-
дения из плазмы с ионной имплантацией в
процессе осаждения покрытий (plasma-based
ion implantation with deposition {PBIID}),
позволяющий получать плотные твердые по-
крытия с хорошей адгезией в широком ди-
апазоне температур подложки (>100 °С) [6].
Суть метода состоит в том, что в процессе
осаждения покрытий из плазменного состо-
яния на подложку подают одновременно с по-
стоянным отрицательным потенциалом ко-
роткие (несколько десятков микросекунд)
высоковольтные импульсы амплитудой 0,2 ÷
20 кВ. Осаждающаяся пленка подвергается
бомбардировке интенсивной ионами металла
и газа. Высокоэнергетичные столкновения,
порождающие температурные пики со време-
нем жизни, большим времени релаксации
напряжений в покрытии, являются эффек-
тивным способом снять внутренние напряже-
ния во время процесса осаждения [8]. В про-
межутках между импульсами покрытие под-
вергается бомбардировке ионов с энергиями,
определяемыми, в основном, потенциалом
смещения, что, в свою очередь, определяет
величину внутренних напряжений и твер-
дость покрытий, а также температуру подло-
жки. При этом покрытия с твердостью 21 ГПа
и удовлетворительными физико-механичес-
кими характеристиками могут быть получе-
ны при температурах подложки >150 °С [9].
В частности, при вакуумно-дуговом осаж-
дении TiN покрытий при постоянном отрица-
тельном потенциале 20 ÷ 230 В на подложке,
подаче на нее отрицательных импульсов с
амплитудой 2 кВ и давлении азота в камере
0,66 Па были получены образцы с твердостью
41 ÷ 68 ГПа при температурах подложки 120
÷ 370 °С [10, 11.]
Как было сказано выше, твердость и дру-
гие свойства обычных вакуумно-дуговых TiN
покрытий сильно зависит от давления в каме-
ре в процессе осаждения. Поэтому представ-
ляет интерес выяснение связи между давле-
нием азота в камере и характеристиками
сверхтвердых покрытий, что и является це-
лью данной работы.
МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТОВ И
ИССЛЕДОВАНИЙ
Покрытия TiN были нанесены с использова-
нием серийной вакуумно-дуговой установки
“Булат-6”. Испаряемый материал – титано-
вый сплав ВТ1-0. Ток дуги составлял 85 А,
давление азота в камере – 0,665 Па, расстоя-
ние от испарителя до подложки – 250 мм.
Подложки из нержавеющей стали
12Х18Н10Т, а также медной фольги 0,2 мм.
В процессе осаждения на подложку пода-
вали отрицательные импульсы напряжения
10 мксек с частотой 7 кГц и постоянное на-
пряжение 230 В.
Рентгеноструктурные исследования
проводили с использованием рентгеновского
дифрактометра ДРОН-3 в фильтрованном Сu-
Kб излучении.
Морфология поверхности и характер рас-
пределения частиц капельной фазы исследо-
валась на растровом электронном микроскопе
JEOL JSM-840.
Наноиндентирование проводили с помо-
щью наноиндентора “Микрон-Гамма” с пира-
мидой Берковича при нагрузке в пределах
40 г с автоматически выполняемыми нагруже-
нием и разгружением на протяжении 30 сек,
а также записью диаграмм нагружения и раз-
гружения в координатах F-h. Точность оп-
ределения нагрузки F составляла 10–3 Н, глу-
бины индентора ±2,5 нм. Значения харак-
теристик F, hmax, hp, hс, HIT, EIT, EIT
* опре-
делялись и вычислялись автоматически по
стандарту ISO 14577-1:2002.
РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
Пользуясь диаграммой автоматического ин-
дентирования определены величины и, уро-
вень сопротивления пластической деформа-
ции полученных покрытий.
Обычные TiN покрытия, осажденные
при давлении азота 0,66 Па показали твер-
дость 25 ÷ 27 ГПа при модуле упругости
Е = 320ГПа. Величина отношения Н/Е*
ФІП ФИП PSE, 2007, т. 5, № 3-4, vol. 5, No. 3-4 205
составила 0,089 ÷ 0,1. Покрытия, осажден-
ные с ионной имплантацией при том же дав-
лении азота показали твердость 41 ÷ 68 ГПа
при модуле упругости 410 ÷ 440 ГПа. Соот-
ветственно, соотношение Н/Е* достигало
0,100 ÷0,149.
Не отмечено четкой связи между твердос-
тью покрытий и давлением азота в диапазоне
0,01 ÷ 1 Па в процессе осаждения, хотя имеет-
ся тенденция к увеличению твердости с
увеличением давления (рис. 1).
Это может быть связано не столько с твер-
достью самого покрытия TiN, сколько с тем
известным фактом [1], что с уменьшением
давления азота существенно увеличивается
количество мягкой капельной фазы в покры-
тии, что, несомненно, отражается на величи-
не общей твердости и точности измерений.
На рис. 2, 3 приведены фрактограммы изло-
мов покрытий, полученных при давлениях
1,2⋅10–4 Па (рис. 2) и 0,66 Па (рис. 3). Вид-
но, что при низком давлении капли имеются
как на поверхности покрытий, так и в самих
покрытиях, в то время как при давлении
0,66 Па в покрытиях заметны только следы
капель.
Следовательно, количество и размеры
капель титана при относительно низком
(0,02Па) давлении азота столь велико, что
применение высоковольтных импульсов не
может существенно уменьшить их присутст-
вие в покрытии. При давлении азота 0,66 Па,
наличии высоковольтных импульсов и
Рис. 1. Зависимость твердости покрытий TiN от дав-
ления азота в процессе осаждения. о – TiN при по-
стоянном смещении 230 В; • – TiN при постоянном
смещении 230 В и подаче импульсов 2 кВ и 7 кГц.
Рис. 2. Фрактограмма излома покрытия, осажденного
при давлении азота 0,02 Па при постоянном отрица-
тельном смещении 230 В и импульсами 2 кВ. Твер-
дость покрытия 41 ГПа.
Рис. 3. Фрактограмма излома покрытия, осажденного
при давлении азота 0,66 Па при постоянном отрица-
тельном смещении 230 В и импульсами 2 кВ. Твер-
дость покрытия 55 ГПа.
А.А. АНДРЕЕВ, В.М. ШУЛАЕВ, В.Ф. ГОРБАНЬ, В.А. СТОЛБОВОЙ
ФІП ФИП PSE, 2007, т. 5, № 3-4, vol. 5, No. 3-4206
постоянного отрицательного потенциала
230 В капли в покрытии отсутствуют.
ЛИТЕРАТУРА
1. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия:
Монография/А.А. Андреев, Л.П. Саблев,
В.М. Шулаев, С.Н. Григорьев. – Харьков:
ННЦ ХФТИ, 2005.– 236 с.
2. Аксенов И.И., Антуфьев Ю.Н., Брень В.Г.,
Дикий Н.П., Кудрявцева Е.Е. , Кунченко В.В.,
Осипов В.А., Сопрыкин Л.И., Падалка В.Г.,
Хороших В.М. Влияние давления газа в реак-
ционном объеме на процесс синтеза нитридов
при конденсации плазмы металлов//Химия
высоких энергий.– 1986. – Т. 20, № 1. – С. 82-
86.
3. Кунченко В.В., Андреев А.А., Картмазов Г.Н.
Структура и свойства эрозионно-стойких ва-
куумно-дуговых покрытий на основе нитри-
дов титана//Научные ведомости (Россия).
Серия Физика. – 2001. – № 2(15) – C. 21-25.
4. Lomino N.S., Ovcharenko V.D., Andreev A.A.
On Mechanism of Vacuum-Arc Plasma Activa-
tion in the Range of Pressures 1-10 Pa//IEEE
Transactions on Plasma Science.–2005.–Vol. 33.
– No 5. – Р. 1626-1630.
5. Ikeda T., Satoh H. Phase formation and charac-
terisation of hard coatings in the Ti-Al-N system
prepared by the cathodic arc ion plating method
//Thin Solid Films.– 1991.–Vol. 195 – P. 99-110.
6. Pelletier J., Anders A. Plasma-based ion implan-
tation and deposition: A review of physics, tech-
nology and applications//IEEE Transactions on
Plasma Science.–2005. – Vol. 33, No 6. – P. 1944-
1959.
7. Marks N.A. Evidence for sub-picosecond ther-
mal spikes in the formation of tetrahedral amor-
hous carbon//Phys. Rew. B. – 1997. –Vol. 56. –
P. 2442-2446.
8. Bilek M.M.M., McKenzie D.R., Tarant R.N.,
Lim S.H.M., McCulloch D.G. Plasma-based ion
implantation utilising a cathodic arc plasma//Sur-
face and Coatings Technology.– 2003. – Vol. 156.
– P. 136-142.
9. Perry A.J., Treglio J.R.,Tian A.F. Low-tempera-
ture deposition of titanium nitride//Surface and
Coatings Technology. – 1995. – Vol. 76-77.–
P. 815-820.
10. Шулаев В.М., Горбань В.Ф., Андреев А.А.,
Столбовой В.А. Сопоставление характерис-
тик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN
покрытий, осаждаемых при подаче на подло-
жку высоковольтных импульсов//Физическая
инженерия поверхности – 2007. – Т. 5, № 1-2.
– С. 94-97.
11. Шулаев В.М., Андреев А.А., Неклюдов И.М.,
Горбань В.Ф., Столбовой В.А. Синтез беска-
пельных вакуумно-дуговых наноструктур-
ных TiN покрытий, осаждаемых из прямого
потока плазмы//Тези 2-ї Міжнародної на-
укової конференції “Нанорозмірні системи
будова-властивості-технології” (Київ). – 2007.
– С. 578.
ВПЛИВ ТИСКУ АЗОТУ ПРИ ОСАДЖЕННІ
НАДТВЕРДИХ TіN ПОКРИТТІВ НА
ЇХНІ ВЛАСТИВОСТІ
А.А. Андрєєв, В.М. Шулаєв,
В.Ф. Горбань, В.А. Столбовий
Досліджено залежність твердості надтвердих
вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту
в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. По-
казано, що на відміну від звичайних вакуумно-
дугових TіN покриттів явно вираженої залеж-
ності від тиску немає, однак помітна тенденція
до підвищення твердості з його збільшенням. Кі-
лькість краплинної фази в покриттях, осаджених
при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається
відносно великим, незважаючи на наявність ви-
соковольтних імпульсів на подкладинці в процесі
осадження. У покриттях, осаджених при тиску
0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня.
THE EFFECT OF NITROGEN PRESSURE
ON THE PROPERTIES OF
SUPERHARD TiN COATINGS DURING
THEIR DEPOSITION
A.A. Andreev, V.M. Shulayev,
V.F. Gorban’, V.A. Stolbovoy
The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings
has been investigated versus nitrogen pressure during
deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It
has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc
TiN coatings, the superhard coatings show no prono-
unced dependence on pressure, though there is a noti-
ceable tendency for hardness to increase with pres-
sure. The quantity of drop phase in the coatings depo-
sited at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains
relatively great despite the presence of high-voltage
pulses on the substrate during deposition. In the coa-
tings deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher,
the drop phase is absent.
ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ СВЕРХТВЕРДЫХ TiN ПОКРЫТИЙ НА ИХ СВОЙСТВА
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98832 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:02:49Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. 2016-04-18T07:09:39Z 2016-04-18T07:09:39Z 2007 Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832 621.793.7 Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим, несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует. Досліджено залежність твердості надтвердих вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі осадження. У покриттях, осаджених при тиску 0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня. The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings has been investigated versus nitrogen pressure during deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced dependence on pressure, though there is a noticeable tendency for hardness to increase with pressure. The quantity of drop phase in the coatings deposited at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains relatively great despite the presence of high-voltage pulses on the substrate during deposition. In the coatings deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher, the drop phase is absent. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства Вплив тиску азоту при осадженні надтвердих TiN покриттів на їхні властивості The effect of nitrogen pressure on the properties of superhard TiN coatings during their deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. |
| title | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_alt | Вплив тиску азоту при осадженні надтвердих TiN покриттів на їхні властивості The effect of nitrogen pressure on the properties of superhard TiN coatings during their deposition |
| title_full | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_fullStr | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_full_unstemmed | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_short | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_sort | влияние давления азота при осаждении сверхтвердых tin покрытий на их свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832 |
| work_keys_str_mv | AT andreevaa vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT šulaevvm vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT gorbanʹvf vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT stolbovoiva vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT andreevaa vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT šulaevvm vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT gorbanʹvf vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT stolbovoiva vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT andreevaa theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition AT šulaevvm theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition AT gorbanʹvf theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition AT stolbovoiva theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition |