Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
 вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако
 заметна тенденци...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862686083234398208 |
|---|---|
| author | Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. |
| author_facet | Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. |
| citation_txt | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако
заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в
покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим,
несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В
покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует.
Досліджено залежність твердості надтвердих
вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту
в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція
до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених
при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається
відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі
осадження. У покриттях, осаджених при тиску
0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня.
The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings
has been investigated versus nitrogen pressure during
deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It
has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc
TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced
dependence on pressure, though there is a noticeable
tendency for hardness to increase with pressure.
The quantity of drop phase in the coatings deposited
at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains
relatively great despite the presence of high-voltage
pulses on the substrate during deposition. In the coatings
deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher,
the drop phase is absent.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:02:49Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98832 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:02:49Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. 2016-04-18T07:09:39Z 2016-04-18T07:09:39Z 2007 Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832 621.793.7 Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
 вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако
 заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в
 покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим,
 несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В
 покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует. Досліджено залежність твердості надтвердих
 вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту
 в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція
 до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених
 при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається
 відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі
 осадження. У покриттях, осаджених при тиску
 0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня. The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings
 has been investigated versus nitrogen pressure during
 deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It
 has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc
 TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced
 dependence on pressure, though there is a noticeable
 tendency for hardness to increase with pressure.
 The quantity of drop phase in the coatings deposited
 at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains
 relatively great despite the presence of high-voltage
 pulses on the substrate during deposition. In the coatings
 deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher,
 the drop phase is absent. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства Вплив тиску азоту при осадженні надтвердих TiN покриттів на їхні властивості The effect of nitrogen pressure on the properties of superhard TiN coatings during their deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства Андреев, А.А. Шулаев, В.М. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. |
| title | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_alt | Вплив тиску азоту при осадженні надтвердих TiN покриттів на їхні властивості The effect of nitrogen pressure on the properties of superhard TiN coatings during their deposition |
| title_full | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_fullStr | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_full_unstemmed | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_short | Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства |
| title_sort | влияние давления азота при осаждении сверхтвердых tin покрытий на их свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832 |
| work_keys_str_mv | AT andreevaa vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT šulaevvm vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT gorbanʹvf vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT stolbovoiva vliâniedavleniâazotapriosaždeniisverhtverdyhtinpokrytiinaihsvoistva AT andreevaa vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT šulaevvm vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT gorbanʹvf vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT stolbovoiva vplivtiskuazotupriosadžennínadtverdihtinpokrittívnaíhnívlastivostí AT andreevaa theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition AT šulaevvm theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition AT gorbanʹvf theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition AT stolbovoiva theeffectofnitrogenpressureonthepropertiesofsuperhardtincoatingsduringtheirdeposition |