Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2007
• Main Authors: Андреев, А.А., Шулаев, В.М., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2007
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98832
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 3-4. — С. 203–206. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению тв...