Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения
Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно отнести предварительную обработку поверхно...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98840 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 4–19. — Бібліогр.: 65 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98840 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. 2016-04-18T11:56:41Z 2016-04-18T11:56:41Z 2010 Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 4–19. — Бібліогр.: 65 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98840 537.534.2:679.826 Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно отнести предварительную обработку поверхности подложки, изменение состава рабочего газа и подачу потенциала смещения на подложку. Рассмотрены особенности структуры и свойств нанокристаллических алмазных пленок и перспективы их использования в различных областях науки и техники. Наведено огляд літератури, що присвячена синтезу нанокристалічних алмазних плівок методом газофазного хімічного осадження. Обговорюються основні прийоми, які дозволяють обмежувати розмір зерен зростаючих кристалітів в алмазних плівках. До них можна віднести попередню обробку поверхні підкладки, зміну складу робочого газу та подачу потенціалу зміщення на підкладку. Розглянуто особливості структури й властивостей наноструктурних алмазних плівок і перспективи їх використання у різних галузях науки та техніки. The review of the literature data devoted to manufacture of CVD-nanocrystalline diamond films have been performed. The basic technological processes that allow limiting the size of growing diamond crystallites (pretreatment of a substrate surface, change of working gas species and use of substrate bias potential) were discussed. Structure, properties, future prospects of nanocrystalline diamond film application in various areas of science and engineering was given. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения |
| spellingShingle |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| title_short |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения |
| title_full |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения |
| title_fullStr |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения |
| title_full_unstemmed |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения |
| title_sort |
нанокристаллические алмазные cdv-пленки: структура, свойства и перспективы применения |
| author |
Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Выровец, И.И. Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Опалев, О.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| description |
Представлен обзор литературы, посвященной синтезу нанокристаллических алмазных пленок
методом газофазного химического осаждения. Обсуждаются основные приемы, которые позволяют ограничивать размер зерен растущих кристаллитов в алмазных пленках. К ним можно
отнести предварительную обработку поверхности подложки, изменение состава рабочего газа
и подачу потенциала смещения на подложку. Рассмотрены особенности структуры и свойств
нанокристаллических алмазных пленок и перспективы их использования в различных областях
науки и техники.
Наведено огляд літератури, що присвячена синтезу нанокристалічних алмазних плівок методом
газофазного хімічного осадження. Обговорюються основні прийоми, які дозволяють обмежувати розмір зерен зростаючих кристалітів в алмазних плівках. До них можна віднести попередню обробку поверхні підкладки, зміну складу робочого газу та подачу потенціалу зміщення на підкладку. Розглянуто особливості структури й властивостей наноструктурних алмазних плівок і перспективи їх використання у різних галузях науки та техніки.
The review of the literature data devoted to manufacture of CVD-nanocrystalline diamond films have
been performed. The basic technological processes that allow limiting the size of growing diamond
crystallites (pretreatment of a substrate surface, change of working gas species and use of substrate
bias potential) were discussed. Structure, properties, future prospects of nanocrystalline diamond
film application in various areas of science and engineering was given.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98840 |
| citation_txt |
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения / И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 4–19. — Бібліогр.: 65 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT vyrovecii nanokristalličeskiealmaznyecdvplenkistrukturasvoistvaiperspektivyprimeneniâ AT gricynavi nanokristalličeskiealmaznyecdvplenkistrukturasvoistvaiperspektivyprimeneniâ AT dudniksf nanokristalličeskiealmaznyecdvplenkistrukturasvoistvaiperspektivyprimeneniâ AT opalevoa nanokristalličeskiealmaznyecdvplenkistrukturasvoistvaiperspektivyprimeneniâ AT rešetnâken nanokristalličeskiealmaznyecdvplenkistrukturasvoistvaiperspektivyprimeneniâ AT strelʹnickiive nanokristalličeskiealmaznyecdvplenkistrukturasvoistvaiperspektivyprimeneniâ |
| first_indexed |
2025-12-07T18:01:56Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:01:56Z |
| _version_ |
1850873496425463808 |