Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда
Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 –
 300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ∼ 10 мкм. На межзеренных границах
 имеются скопления примесей, опр...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98848 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда / Б.М. Абдурахманов, Л.О. Олимов, Ф. Абдуразаков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 72–76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862744135360839680 |
|---|---|
| author | Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. |
| author_facet | Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. |
| citation_txt | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда / Б.М. Абдурахманов, Л.О. Олимов, Ф. Абдуразаков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 72–76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 –
300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ∼ 10 мкм. На межзеренных границах
имеются скопления примесей, определяющие совместно с зарядовыми состояниями ход температурной зависимости удельного сопротивления поликристаллического кремния.
Експериментально досліджена мікроструктура та морфологія границь зерен полікристалічного
кремнію отриманого різними способами. Поверхня зерен розміром 100 – 300 мкм покрита
численними виступами та мікропорожнечами розміром ∼ 10 мкм. На міжзерених границях
присутні скупчення домішок, що визначають разом із зарядовими станами хід температурної
залежності питомого опору полікристалічного кремнію.
Experimentally studied the microstructure and morphology of grain boundaries of polycrystalline
silicon obtained by different methods. The surface of the grain size of 100 – 300 microns is replete
with bumps and micro-sized voids? ∼ 10 microns. In between the grain boundaries are accumulations
of impurities that determine the charge states with the temperature dependence of resistivity of
polycrystalline silicon.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:33:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98848 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:33:46Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. 2016-04-18T16:19:06Z 2016-04-18T16:19:06Z 2010 Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда / Б.М. Абдурахманов, Л.О. Олимов, Ф. Абдуразаков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 72–76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1999-8074 PACS: 61.82.Fk; 61.72.Mm; 73.61.-r; 73.63.-b; 68.55.Ln; 61.72.-y; 61.72.Ff; 61.72.Hh; 61.72.Qq; 61.72.S-; 61.72.sd; 61.72.sh; 64.75.Qr; 64.75.St; 68.37.-d; 73.90.+f. https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98848 Экспериментально исследованы микроструктура и морфология границ зерен поликристаллического кремния полученного разными способами. Поверхность зерен размером 100 –
 300 мкм изобилует выступами и микропустотами размером ∼ 10 мкм. На межзеренных границах
 имеются скопления примесей, определяющие совместно с зарядовыми состояниями ход температурной зависимости удельного сопротивления поликристаллического кремния. Експериментально досліджена мікроструктура та морфологія границь зерен полікристалічного
 кремнію отриманого різними способами. Поверхня зерен розміром 100 – 300 мкм покрита
 численними виступами та мікропорожнечами розміром ∼ 10 мкм. На міжзерених границях
 присутні скупчення домішок, що визначають разом із зарядовими станами хід температурної
 залежності питомого опору полікристалічного кремнію. Experimentally studied the microstructure and morphology of grain boundaries of polycrystalline
 silicon obtained by different methods. The surface of the grain size of 100 – 300 microns is replete
 with bumps and micro-sized voids? ∼ 10 microns. In between the grain boundaries are accumulations
 of impurities that determine the charge states with the temperature dependence of resistivity of
 polycrystalline silicon. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда Article published earlier |
| spellingShingle | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда Абдурахманов, Б.М. Олимов, Л.О. Абдуразаков, Ф. |
| title | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_full | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_fullStr | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_full_unstemmed | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_short | Микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| title_sort | микроструктура межзеренных границ в поликристаллическом кремнии и ее влияние на перенос носителей заряда |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98848 |
| work_keys_str_mv | AT abdurahmanovbm mikrostrukturamežzerennyhgranicvpolikristalličeskomkremniiieevliânienaperenosnositeleizarâda AT olimovlo mikrostrukturamežzerennyhgranicvpolikristalličeskomkremniiieevliânienaperenosnositeleizarâda AT abdurazakovf mikrostrukturamežzerennyhgranicvpolikristalličeskomkremniiieevliânienaperenosnositeleizarâda |