Buchumschlag

Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок

В работе на примере измерения параметров ультратонких (3 – 5 нм) TiNx пленок показана возможность использования рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины и сплошности пленок наноразмерной толщины. Пленки TiNx были получены на кремнии методом слаботочного ионно-луче...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2010
Hauptverfasser:	Стервоедов, А.Н., Береснев, В.М., Сергеева, Н.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98851
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Особенности применения рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для определения толщины ультратонких пленок / А.Н. Стервоедов, В.М. Береснев, Н.В. Сергеева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 88–92. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Исследование структуры поверхности сорбентов-катализаторов, модифицированных MnO₂, методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
von: Якупова, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Исследование электронной структуры сплавов магния и алюминия методом рентгеновской эмиссионной спектроскопии
von: Ткаченко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вэйвлет анализ и его применение в туннельной и рентгеновской спектроскопии
von: Чукалина, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
von: Николаенко, Ю.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
von: Кузьмин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Камера тепла и холода для изделий фотоэлектронной техники
von: Дунаенко, А.Х., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Коллоквиум МАС № 102 «Девятый международный коллоквиум по уф- и рентгеновской спектроскопии астрофизической и лабораторной плазмы»
Veröffentlicht: (1987)

Особенности спектроскопии бразильских алмазов
von: Петровский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Аномальный размерный эффект в проводимости пленок висмута малой толщины
von: Анопченко, А.С., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
von: Буданов, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Применение импедансной спектроскопии для определения трещиноватости газонасыщенных угольных пластов в реальных условиях забоя
von: Стефанович, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Структура та електропровідність ультратонких плівок міді, золота та срібла
von: Шпак, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Нанесення ультратонких алюмосилікатних покриттів на металеві поверхні аерозольним способом
von: Бовсуновський, Є.О.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Alieva, Kh. S.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Алиева, Х.С.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование структуры углей методом рентгеновской дифракции
von: Алексеев, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Автоматизированная система релаксационной спектроскопии
von: Пилипенко, А.Н.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
von: Гудыменко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Магнитное поле в рентгеновской системе Лебедь Х-1
von: Карицкая, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Вплив неоднорідностей поверхні на умови перенесення заряду в ультратонких плівках металів
von: Бігун, Р.І., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Зависимость критической температуры перехода от толщины сверхпроводящих пленок с различными длинами когерентности
von: Прохоров, В.Г.
Veröffentlicht: (1998)

Квазивертикальное радиолокационное зондирование пленок поверхностно-активных веществ конечной толщины на морской поверхности
von: Боев, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Моделювання розмірних залежностей електропровідності ультратонких плівок золота на основі теорій квантового розмірного ефекту
von: Бігун, Р.І., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Трехмерная доплеровская томография рентгеновской двойной Лебедь Х-1
von: Шарова, О.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Об использовании лазерно-ультразвуковой спектроскопии для определения модулей упругости ортотропных сред
von: Лысенко, П.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
von: Деревянко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Понижение температуры плавления с уменьшением толщины плёнок Bi, In, Pb и Sn в Al матрице
von: Богатыренко, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Особенности низкотемпературной спектроскопии примесных центров с многоямным адиабатическим потенциалом
von: Малюкин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Особенности применения режущих инструментов из поликристалллического кубического нитрида бора с защитным покрытием
von: Клименко, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
von: Джавадов, Н.Г.
Veröffentlicht: (2005)

Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок
von: Стерхова, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Измерение толщины ультразвуковыми толщинометрами с А-разверткой
von: Козин, А.Н.
Veröffentlicht: (2003)

Особенности магнитного упорядочения многослойных пленок Fe/Au/Tb
von: Калита, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Методика определения диффузионных параметров в гетерофазных материалах
von: Посухов, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Магнитный метод определения толщины защитного слоя бетона и диаметра прутков арматуры строительных конструкций
von: Гусев, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Информационно-измерительная система для туннельной спектроскопии
von: Жарков, И.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Рентгенофлуоресцентный анализ с компенсацией негативного влияния эффекта нестабильности рентгеновской возбуждающей системы
von: Гальченко, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Быстрый метод одновременной дискриминации микроводорослей и определения их биохимического состава на основе вибрационной спектроскопии
von: Сурешкумар, П., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Особенности применения цемента в бентонит-полимерных композитах
von: Розко, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Новая автоматическая сдвиговая ячейка с алмазными наковальнями для in situ исследований материалов с использованием рентгеновской дифракции
von: Новиков, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)