Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Грудницкий, В.В., Турбин, П.В., Колесников, Д.А., Толмачева, Г.Н.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98870
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических
 параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты
 (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов
 изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области
 60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N
 формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂
 -nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних параметрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого
 потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого
 розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному
 інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 ÷ 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза ε-TiN
 з квазіаморфнимі фазами α-Si₃N₄ і HfSi₂-nc. Максимальне значення твердості становить
 Н = 42,7 ± ГПа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the
 deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated
 metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on
 cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is
 insignificant and is in the range 60 ÷ 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of
 the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed ε-TiN phase with quasi α-Si₃N₄
 and HfSi₂-nc. The maximum hardness is H = 42,7 ± 7 GPa.