Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических
 параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты
 (Zr, Ti)N твердого рас...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98870 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862552683117805568 |
|---|---|
| author | Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. |
| author_facet | Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. |
| citation_txt | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических
параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты
(Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов
изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области
60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N
формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂
-nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа.
Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних параметрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого
потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого
розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному
інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 ÷ 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза ε-TiN
з квазіаморфнимі фазами α-Si₃N₄ і HfSi₂-nc. Максимальне значення твердості становить
Н = 42,7 ± ГПа.
The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the
deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated
metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on
cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is
insignificant and is in the range 60 ÷ 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of
the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed ε-TiN phase with quasi α-Si₃N₄
and HfSi₂-nc. The maximum hardness is H = 42,7 ± 7 GPa.
|
| first_indexed | 2025-11-25T21:02:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98870 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T21:02:24Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. 2016-04-18T17:54:16Z 2016-04-18T17:54:16Z 2010 Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98870 621.793 Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических
 параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты
 (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов
 изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области
 60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N
 формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂
 -nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних параметрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого
 потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого
 розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному
 інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 ÷ 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза ε-TiN
 з квазіаморфнимі фазами α-Si₃N₄ і HfSi₂-nc. Максимальне значення твердості становить
 Н = 42,7 ± ГПа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the
 deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated
 metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on
 cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is
 insignificant and is in the range 60 ÷ 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of
 the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed ε-TiN phase with quasi α-Si₃N₄
 and HfSi₂-nc. The maximum hardness is H = 42,7 ± 7 GPa. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы Береснев, В.М. Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. |
| title | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы |
| title_full | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы |
| title_fullStr | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы |
| title_full_unstemmed | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы |
| title_short | Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы |
| title_sort | структура и свойства твердых покрытий систем (ti-zr-si)n и (ti-hf-si)n, полученных из потоков металлической плазмы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98870 |
| work_keys_str_mv | AT beresnevvm strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy AT pogrebnâkad strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy AT sobolʹov strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy AT grudnickiivv strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy AT turbinpv strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy AT kolesnikovda strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy AT tolmačevagn strukturaisvoistvatverdyhpokrytiisistemtizrsinitihfsinpolučennyhizpotokovmetalličeskoiplazmy |