Исследование состава и структуры пленок на основе Si-Ge сплавов ядерно-физическими методами анализа на пучках протонов
Исследованы возможности определения массового содержимого, толщины и профилей концентрации кремния и фосфора в тонких пленках изготовленных по газо-фторидной технологии.
 Разработана методика неразорительного анализа поверхностных пластов и переходного пласта
 между бинарной Sі-Ge пл...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| ISSN: | 1999-8074 |
| Автори: | Левенец, В.В., Щур, А.А., Широков, Б.М. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98871 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование состава и структуры пленок на основе Si-Ge сплавов ядерно-физическими методами анализа на пучках протонов / В.В. Левенец, А.А. Щур, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 130–137. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Анализ гадолиния в реакторных сталях ядерно-физическими методами
за авторством: Омельник, А.П., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Омельник, А.П., та інші
Опубліковано: (2000)
Динамика информационных потоков по ядерно-физическим методам анализа на пучках ионов
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
за авторством: Ковальчук, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ковальчук, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)
Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Рафинирование железа физическими методами
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Оценка надежности горнодобывающих технологий вероятностно-физическими методами
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Переработка отходов селеновых электрофотографических носителей физическими методами
за авторством: Шкуропатенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Шкуропатенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Оценка запасов минерального сырья физическими и геофизическими методами
за авторством: Портнов, В.С., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Портнов, В.С., та інші
Опубліковано: (2014)
Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок
за авторством: Глушко, П.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Глушко, П.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Определение элементного состава W-Re-сплавов по характеристическому рентгеновскому излучению К-оболочки атомов и γ-излучению из ядерных реакций
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)
Взаимосвязь между электронной структурой и физическими свойствами магниевых сплавов
за авторством: Ткаченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ткаченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2013)
Развитие концепции многостадийной очистки отработавшего ядерного топлива от продуктов деления физическими методами
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)
Использование характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого протонами для определения элементного состава сплавов циркония методом фундаментальных параметров
за авторством: Щур, А.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Щур, А.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами
за авторством: Гончаров, А.А.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Гончаров, А.А.
Опубліковано: (2011)
Определение начала кипения в пучках стержней
за авторством: Архипов, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Архипов, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Кризис теплообмена в пучках стержней с закруткой потока
за авторством: Ковецкая, М.М.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ковецкая, М.М.
Опубліковано: (2009)
Оценка размокаемости породных примесей в углях физическими показателями
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Получение сплавов циркония для ядерно-топливного цикла Украины с использованием электронно-лучевых технологий
за авторством: Ладохин, С.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ладохин, С.В., та інші
Опубліковано: (2016)
О возможности создания низкочастотных генераторов магнито-тормозного излучения на пучках свободных электронов
за авторством: Ефимов, Б.П.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Ефимов, Б.П.
Опубліковано: (2000)
Теплообмен в шахматных пучках труб со спирально-ленточным разрезным оребрением
за авторством: Письменный, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Письменный, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
Радиационные эффекты в пучках заряженных частиц, движущихся в периодических полях
за авторством: Огнивенко, В.В.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Огнивенко, В.В.
Опубліковано: (2010)
Квазикристаллы — новый класс твердых тел с уникальными физическими свойствами
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Оптимизация линейных динамических систем методами функционального анализа
за авторством: Стенин, А.А., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Стенин, А.А., та інші
Опубліковано: (2019)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Спин-спиновая ЯМР релаксация протонов воды в силикагелях
за авторством: Алексеев, А.Д., та інші
Опубліковано: (1998)
за авторством: Алексеев, А.Д., та інші
Опубліковано: (1998)
О стохастической динамике протонов в солнечных магнитных петлях
за авторством: Сенаторов, В.Н., та інші
Опубліковано: (1991)
за авторством: Сенаторов, В.Н., та інші
Опубліковано: (1991)
Влияние фазового состава литых высокоэнтропийных сплавов на механические свойства
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Аэродинамическое сопротивление в шахматных пучках труб со спирально-ленточным разрезным оребрением
за авторством: Письменный, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Письменный, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2007)
Математическое моделирование структуры сложных социальноэкономических объектов на основе аналогий с физическими фракталами
за авторством: Виклюк, Я.И.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Виклюк, Я.И.
Опубліковано: (2010)
Гамма-спектрометрическое определение содержания и массы изотопов урана в образцах неизвестного состава и продукции ядерно-топливного цикла
за авторством: Кутний, Д.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Кутний, Д.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Исследование алмазоподобных углеродных плёнок методами комбинационного рассеяния света и наноиндентирования
за авторством: Кириченко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Кириченко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
Коррозионные свойства сплавов системы Ag-Cu-Ge
за авторством: Верховлюк, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Верховлюк, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Локальный анализ вариабельности сердечного ритма методами нелинейного анализа
за авторством: Майоров, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Майоров, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)
Нейтронные поля в подкритическом реакторе, генерируемом пучком ускоренных протонов
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2002)
Новая методика исследования транспорта протонов в органических ионообменных мембранах
за авторством: Ткаченко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Ткаченко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2003)
Исследование системы GaSb+Bi методом обратного рассеяния протонов
за авторством: Цымбал, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Цымбал, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние состава и структуры на прочность сплавов системы Zr-Cr
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Локализация ядерно-опасных скоплений топливосодержащих материалов
за авторством: Высотский, Е.Д., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Высотский, Е.Д., та інші
Опубліковано: (2007)
Схожі ресурси
-
Анализ гадолиния в реакторных сталях ядерно-физическими методами
за авторством: Омельник, А.П., та інші
Опубліковано: (2000) -
Динамика информационных потоков по ядерно-физическим методам анализа на пучках ионов
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2007) -
Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
за авторством: Ковальчук, И.К., та інші
Опубліковано: (2007) -
Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014) -
Рафинирование железа физическими методами
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)