Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом

Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач
 по упрочнению инструмента. Установ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2010
Main Authors: Хороших, В.М., Леонов, С.А., Носов, Г.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98874
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862732052233715712
author Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Носов, Г.И.
author_facet Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Носов, Г.И.
citation_txt Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач
 по упрочнению инструмента. Установлено, что при горении вакуумной дуги в присутствии
 азота в области давлений 1,5 ÷ 5 Па наблюдается высокая степень корреляции зависимостей
 тока положительно заряженных частиц и скорости осаждения нитридсодержащих покрытий
 от величины магнитного поля. Такими частицами могут быть положительно заряженные кластеры, состоящие из 15 ÷ 20 молекул нитрида титана. При горении дуги в области более низких
 давлений азота (0,5 ÷ 0,8 Па) подобная корреляция отсутствует. Вивчений вплив індукції магнітного поля на швидкість осадження нітридних покриттів, що
 отримують в області підвищеного тиску (1,5 ÷ 5 Па) і в області тиску менше 1,5 Па, традиційно
 використовуваною для вирішення технологічних завдань по зміцненню інструменту. Встановлено, що при горінні вакуумної дуги у присутності азоту в області тиску 1,5 ÷ 5 Па спостерігається високий ступінь кореляції залежностей струму позитивно заряджених частинок і
 швидкості осадження нітридних покриттів від величини магнітного поля. Такими частинками
 можуть бути позитивно заряджені кластери яки складаються з 15 ÷ 20 молекул нітриду титану.
 При горінні дуги в області нижчого тиску азоту (0,5 ÷ 0,8 Па) подібна кореляція відсутня. Influence of magnetic field induction is studied on deposition rate of vacuum-arc nitride coatings,
 got: in range of the promoted pressures (1,5 ÷ 5 Pa) and in area of pressures a less than 1,5 Pa, traditionally
 used for the decision of technological tasks on instrument hardening. It is set that at burning
 of a vacuum arc in presence nitrogen in area of pressures 1,5 ÷ 5 Pa are observed high degree of
 correlation of dependences of current of the positively charged particles and deposition rate of nitride
 coatings for the magnetic field value. Such particles can be the positively charged clusters consisting
 of 15 ÷ 20 molecules of titanium nitride. At operating of arc in range of more low nitrogen pressures
 (0,5 ÷ 0,8 Pa) similar correlation is absent.
first_indexed 2025-12-07T19:29:59Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98874
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T19:29:59Z
publishDate 2010
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Носов, Г.И.
2016-04-18T18:10:17Z
2016-04-18T18:10:17Z
2010
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98874
537.525.5
Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач
 по упрочнению инструмента. Установлено, что при горении вакуумной дуги в присутствии
 азота в области давлений 1,5 ÷ 5 Па наблюдается высокая степень корреляции зависимостей
 тока положительно заряженных частиц и скорости осаждения нитридсодержащих покрытий
 от величины магнитного поля. Такими частицами могут быть положительно заряженные кластеры, состоящие из 15 ÷ 20 молекул нитрида титана. При горении дуги в области более низких
 давлений азота (0,5 ÷ 0,8 Па) подобная корреляция отсутствует.
Вивчений вплив індукції магнітного поля на швидкість осадження нітридних покриттів, що
 отримують в області підвищеного тиску (1,5 ÷ 5 Па) і в області тиску менше 1,5 Па, традиційно
 використовуваною для вирішення технологічних завдань по зміцненню інструменту. Встановлено, що при горінні вакуумної дуги у присутності азоту в області тиску 1,5 ÷ 5 Па спостерігається високий ступінь кореляції залежностей струму позитивно заряджених частинок і
 швидкості осадження нітридних покриттів від величини магнітного поля. Такими частинками
 можуть бути позитивно заряджені кластери яки складаються з 15 ÷ 20 молекул нітриду титану.
 При горінні дуги в області нижчого тиску азоту (0,5 ÷ 0,8 Па) подібна кореляція відсутня.
Influence of magnetic field induction is studied on deposition rate of vacuum-arc nitride coatings,
 got: in range of the promoted pressures (1,5 ÷ 5 Pa) and in area of pressures a less than 1,5 Pa, traditionally
 used for the decision of technological tasks on instrument hardening. It is set that at burning
 of a vacuum arc in presence nitrogen in area of pressures 1,5 ÷ 5 Pa are observed high degree of
 correlation of dependences of current of the positively charged particles and deposition rate of nitride
 coatings for the magnetic field value. Such particles can be the positively charged clusters consisting
 of 15 ÷ 20 molecules of titanium nitride. At operating of arc in range of more low nitrogen pressures
 (0,5 ÷ 0,8 Pa) similar correlation is absent.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
Article
published earlier
spellingShingle Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
Хороших, В.М.
Леонов, С.А.
Носов, Г.И.
title Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
title_full Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
title_fullStr Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
title_full_unstemmed Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
title_short Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
title_sort влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98874
work_keys_str_mv AT horošihvm vliâniedavleniâazotanaprocessfokusirovkipotokovčasticgeneriruemyhvakuumnymdugovymrazrâdom
AT leonovsa vliâniedavleniâazotanaprocessfokusirovkipotokovčasticgeneriruemyhvakuumnymdugovymrazrâdom
AT nosovgi vliâniedavleniâazotanaprocessfokusirovkipotokovčasticgeneriruemyhvakuumnymdugovymrazrâdom