Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом
Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач по упрочнению инструмента. Установлено, чт...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98874 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |