Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Хороших, В.М., Леонов, С.А., Носов, Г.И.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98874
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние давления азота на процесс фокусировки потоков частиц, генерируемых вакуумным дуговым разрядом / В.М. Хороших, С.А. Леонов, Г.И. Носов // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 150–154. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Изучено влияние индукции магнитного поля на скорость осаждения вакуумно-дуговых ниттридсодержащих покрытий, получаемых: в области повышенных давлений (1,5 ÷ 5 Па) и в области давлений менее 1,5 Па, традиционно используемой для решения технологических задач по упрочнению инструмента. Установлено, чт...