Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N
Методом ваккумно-дугового осаждения получены сверхтвердые нанокристаллические покрытия нитрида молбидена с твердостью достигающей 55 ГПа. Вакуумно-дуговое осаждение в среде азота приводит к образованию покрытий нитрида молибдена состава Mo₂N. Скорость осаждения является важным фактором, определяющим...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98882 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N / А.А. Соболь О.В., Горбань В.Ф., Васильев А.Л., Столбовой В.А., Сердюк И.В. // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 203–209. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Методом ваккумно-дугового осаждения получены сверхтвердые нанокристаллические покрытия нитрида молбидена с твердостью достигающей 55 ГПа. Вакуумно-дуговое осаждение в среде азота приводит к образованию покрытий нитрида молибдена состава Mo₂N. Скорость осаждения является важным фактором, определяющим фазовый состав покрытий. При скорости осаждения 3,5 км/час формируются двухфазные кондесанты, состоящие из γ- и β-Mo₂N фаз. |
|---|