Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля
Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек.
 В предположении о зеркальном отражени...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98900 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля / А.С. Долгов, А.А. Гетьман // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 242–249. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862623734853009408 |
|---|---|
| author | Долгов, А.С. Гетьман, А.А. |
| author_facet | Долгов, А.С. Гетьман, А.А. |
| citation_txt | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля / А.С. Долгов, А.А. Гетьман // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 242–249. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек.
В предположении о зеркальном отражении мононаправленного первичного потока на поверхностях ступенек найдены выражения для вероятностей выхода атома их бороздки для произвольного распределения параметров ступенек произвольного вида. Развиваемые приемы анализа распространяются на случаи изотропного распределения на входе в бороздку и условия
диффузного рассеяния. Обсуждаются специальные варианты воздействия. Указываются области параметров, соответствующие высоким и низким вероятностям отражения, и зависимость
этих величин от ориентации воздействия и макрогеометрии бороздок. Обсуждаются возможности технологического и диагностического применения результатов работы.
Теоретично розглянуто розсіяння повільних бомбардуючих атомів на твердій поверхні, що
має геометричні дефекти умовно-клинуватого профілю. Припускається, що поверхня дефекту
(“рівчачку”) представлена сукупністю атомних сходинок. У припущенні про дзеркальне відбиття моно спрямованого первинного потоку на поверхнях сходинок найдені вирази для ймовірностей виходу атома із рівчачку для довільного розподілу параметрів сходинок довільного
виду. Розвиваємізаходи аналізу розповсюджуються на випадки ізотропного розподілу на вході
в рівчачок і умови дифузного розсіяння. Обговорюються спеціальні варіанти впливу. Вказуються
області параметрів, що відповідають високим на низьким імовірності відбиття, і залежність
цих величин від орієнтації впливу та макрогеометрії рівчачків. Обговорюються можливості
технологічного та діагностичного застосування результатів роботи.
Dispersion of slow bombarding atoms on the rigid surface having geometrical defects of conditionally
wedge-shaped profile is theoretically considered. It is supposed, that the surface of defect (“groove”)
is presented by set of atomic steps. Expressions are found in the assumption of mirror reflexion of the
monodirected primary stream on surfaces of steps for probabilities of an exit of atom of their groove
for any steps parametres distribution of any kind. Developed receptions of the analysis extend on
cases of isotropic distribution on an input in a groove and conditions of diffusive dispersion. Special
variants of influence are discussed. Regions of parametres corresponding to high and low probabilities
of reflexion, and dependence of these quantities on orientation of influence and macrogeometry of
grooves are specified. Possibilities of technological and diagnostic application of work results are
discussed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:30:12Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98900 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:30:12Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Долгов, А.С. Гетьман, А.А. 2016-04-19T13:20:22Z 2016-04-19T13:20:22Z 2010 Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля / А.С. Долгов, А.А. Гетьман // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 242–249. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98900 539.171 Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек.
 В предположении о зеркальном отражении мононаправленного первичного потока на поверхностях ступенек найдены выражения для вероятностей выхода атома их бороздки для произвольного распределения параметров ступенек произвольного вида. Развиваемые приемы анализа распространяются на случаи изотропного распределения на входе в бороздку и условия
 диффузного рассеяния. Обсуждаются специальные варианты воздействия. Указываются области параметров, соответствующие высоким и низким вероятностям отражения, и зависимость
 этих величин от ориентации воздействия и макрогеометрии бороздок. Обсуждаются возможности технологического и диагностического применения результатов работы. Теоретично розглянуто розсіяння повільних бомбардуючих атомів на твердій поверхні, що
 має геометричні дефекти умовно-клинуватого профілю. Припускається, що поверхня дефекту
 (“рівчачку”) представлена сукупністю атомних сходинок. У припущенні про дзеркальне відбиття моно спрямованого первинного потоку на поверхнях сходинок найдені вирази для ймовірностей виходу атома із рівчачку для довільного розподілу параметрів сходинок довільного
 виду. Розвиваємізаходи аналізу розповсюджуються на випадки ізотропного розподілу на вході
 в рівчачок і умови дифузного розсіяння. Обговорюються спеціальні варіанти впливу. Вказуються
 області параметрів, що відповідають високим на низьким імовірності відбиття, і залежність
 цих величин від орієнтації впливу та макрогеометрії рівчачків. Обговорюються можливості
 технологічного та діагностичного застосування результатів роботи. Dispersion of slow bombarding atoms on the rigid surface having geometrical defects of conditionally
 wedge-shaped profile is theoretically considered. It is supposed, that the surface of defect (“groove”)
 is presented by set of atomic steps. Expressions are found in the assumption of mirror reflexion of the
 monodirected primary stream on surfaces of steps for probabilities of an exit of atom of their groove
 for any steps parametres distribution of any kind. Developed receptions of the analysis extend on
 cases of isotropic distribution on an input in a groove and conditions of diffusive dispersion. Special
 variants of influence are discussed. Regions of parametres corresponding to high and low probabilities
 of reflexion, and dependence of these quantities on orientation of influence and macrogeometry of
 grooves are specified. Possibilities of technological and diagnostic application of work results are
 discussed. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля Article published earlier |
| spellingShingle | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля Долгов, А.С. Гетьман, А.А. |
| title | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля |
| title_full | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля |
| title_fullStr | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля |
| title_full_unstemmed | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля |
| title_short | Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля |
| title_sort | рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98900 |
| work_keys_str_mv | AT dolgovas rasseânieatomovnašerohovatoipoverhnostistupenčatogoprofilâ AT getʹmanaa rasseânieatomovnašerohovatoipoverhnostistupenčatogoprofilâ |