Рассеяние атомов на шероховатой поверхности ступенчатого профиля - Долгов, А.С.; Гетьман, А.А. (Физическая инженерия поверхности, 2010)
Теоретически рассматривается рассеяние медленных бомбардирующих атомов на твердой поверхности, имеющей геометрические дефекты условно-клиновидного профиля. Предполагается, что поверхность дефекта (“бороздки») представлена совокупностью атомных ступенек. В предположении о зеркальном отражении мононаправленного первичного потока на поверхностях ступенек найдены выражения для вероятностей выхода атома их бороздки для произвольного распределения параметров ступенек произвольного вида. Развиваемые приемы анализа распространяются на случаи изотропного распределения на входе в бороздку и условия диффузного рассеяния. Обсуждаются специальные варианты воздействия. Указываются области параметров, соответствующие высоким и низким вероятностям отражения, и зависимость этих величин от ориентации воздействия и макрогеометрии бороздок. Обсуждаются возможности технологического и диагностического применения результатов работы. Теоретично розглянуто розсіяння повільних бомбардуючих атомів на твердій поверхні, що має геометричні дефекти умовно-клинуватого профілю. Припускається, що поверхня дефекту (“рівчачку”) представлена сукупністю атомних сходинок. У припущенні про дзеркальне відбиття моно спрямованого первинного потоку на поверхнях сходинок найдені вирази для ймовірностей виходу атома із рівчачку для довільного розподілу параметрів сходинок довільного виду. Розвиваємізаходи аналізу розповсюджуються на випадки ізотропного розподілу на вході в рівчачок і умови дифузного розсіяння. Обговорюються спеціальні варіанти впливу. Вказуються області параметрів, що відповідають високим на низьким імовірності відбиття, і залежність цих величин від орієнтації впливу та макрогеометрії рівчачків. Обговорюються можливості технологічного та діагностичного застосування результатів роботи. Dispersion of slow bombarding atoms on the rigid surface having geometrical defects of conditionally wedge-shaped profile is theoretically considered. It is supposed, that the surface of defect (“groove”) is presented by set of atomic steps. Expressions are found in the assumption of mirror reflexion of the monodirected primary stream on surfaces of steps for probabilities of an exit of atom of their groove for any steps parametres distribution of any kind. Developed receptions of the analysis extend on cases of isotropic distribution on an input in a groove and conditions of diffusive dispersion. Special variants of influence are discussed. Regions of parametres corresponding to high and low probabilities of reflexion, and dependence of these quantities on orientation of influence and macrogeometry of grooves are specified. Possibilities of technological and diagnostic application of work results are discussed.