Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке

На основании электронно-микроскопических исследований слоистых пленочных систем
 эвтектического типа Ge-Au построена размерная зависимость температуры кристаллизации
 жидкой фазы эвтектического состава в контакте с аморфной германиевой подложкой. Измеренный угол смачивания и величина...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2010
Main Authors: Сухов, Р.В., Миненков, А.А., Крышталь, А.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98903
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке / Р.В. Сухов, А.А. Миненков, А.П. Крышталь // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 265–270. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859997887881019392
author Сухов, Р.В.
Миненков, А.А.
Крышталь, А.П.
author_facet Сухов, Р.В.
Миненков, А.А.
Крышталь, А.П.
citation_txt Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке / Р.В. Сухов, А.А. Миненков, А.П. Крышталь // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 265–270. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description На основании электронно-микроскопических исследований слоистых пленочных систем
 эвтектического типа Ge-Au построена размерная зависимость температуры кристаллизации
 жидкой фазы эвтектического состава в контакте с аморфной германиевой подложкой. Измеренный угол смачивания и величина переохлаждения жидкой фазы в системе хорошо коррелируют с эмпирической зависимостью величины переохлаждения при кристаллизации от
 степени взаимодействия с подложкой. В результаті електронно-мікроскопічних досліджень шаруватих плівкових систем евтектичного
 типу Ge-Au побудована розмірна залежність температури кристалізації рідкої фази евтектичного
 складу у контактіз аморфною германієвою підкладкою. Виміряний кут змочування та величина
 переохолодження рідкої фази в системі добре узгоджуються з емпіричною залежністю величини
 переохолодження при кристалізації від рівня взаємодії з підкладкою. Size dependence of the crystallization temperature of Ge-Au eutectic in contact with amorphous Ge
 substrate has been determined on the basis of electron microscopy studies of Ge-Au layered film systems.
 The values of supercooling upon crystallization and wetting angle of liquid phase in Ge-Au
 system have been evaluated and compared with empirical dependence available in literature.
first_indexed 2025-12-07T16:34:58Z
format Article
fulltext 265 К настоящему времени накоплен значи- тельный объем теоретических и эксперимен- тальных данных по фазовым переходам плав- ление ↔ кристаллизация в однокомпонент- ных высокодисперсных материалах. Для мно- гокомпонентных наноразмерных систем, и для бинарных систем эвтектического типа, в частности, данных, особенно эксперимента- льных, о закономерностях плавления и крис- таллизации в литературе значительно мень- ше. Это связано, прежде всего, с эксперимен- тальными трудностями исследований про- цессов плавления и кристаллизации в таких системах, а также со сложностью теоретиче- ского анализа процесса зарождения кристал- лов в дисперсном расплаве. Необходимо так- же отметить, что изучение переохлаждения при кристаллизации важно не только с тео- ретической точки зрения для понимания яв- лений зародышеобразования при фазовых переходах жидкость-кристалл, но и с практи- ческой – для выяснения влияния кинетики затвердевания на микроструктуру и, следова- тельно, свойства металлов и сплавов, выра- щиваемых из расплавов. Поэтому, представлялись целесообразны- ми исследования закономерностей образова- ния, температурной и размерной устойчивос- ти переохлажденной жидкой фазы в бинар- ных системах эвтектического типа, особенно для наноразмерных пленочных систем. Весьма эффективным методом определе- ния величины переохлаждения жидкой фазы при кристаллизации является метод, основан- ный на регистрации смены механизма кон- денсации пар-кристалл/пар-жидкость при осаждении пленок в вакууме [1]. При этом известно, что температура смены механизма конденсации соответствует предельному пе- реохлаждению жидкой фазы на данной под- ложке при данных условиях эксперимента [2]. Также, установлено, что величина переох- лаждения жидкой фазы при кристаллизации зависит от степени взаимодействия с подлож- кой, мерой которой является угол смачивания расплавом поверхности подложки [3]. В качестве объекта исследований была вы- брана наноразмерная слоистая пленочная система Ge-Au, компоненты которой обра- ПЕРЕОХЛАЖДЕНИЕ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ЭВТЕКТИКИ Ge-Au НА АМОРФНОЙ ГЕРМАНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ Р.В. Сухов, А.А. Миненков, А.П. Крышталь Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Украина Поступила в редакцию 10.09.2010 На основании электронно-микроскопических исследований слоистых пленочных систем эвтектического типа Ge-Au построена размерная зависимость температуры кристаллизации жидкой фазы эвтектического состава в контакте с аморфной германиевой подложкой. Изме- ренный угол смачивания и величина переохлаждения жидкой фазы в системе хорошо кор- релируют с эмпирической зависимостью величины переохлаждения при кристаллизации от степени взаимодействия с подложкой. Ключевые слова: кристаллизация, эвтектика, германий, золото, пленка. В результаті електронно-мікроскопічних досліджень шаруватих плівкових систем евтектичного типу Ge-Au побудована розмірна залежність температури кристалізації рідкої фази евтектичного складу у контакті з аморфною германієвою підкладкою. Виміряний кут змочування та величина переохолодження рідкої фази в системі добре узгоджуються з емпіричною залежністю величини переохолодження при кристалізації від рівня взаємодії з підкладкою. Ключові слова: кристалізація, евтектика, германій, золото, плівка. Size dependence of the crystallization temperature of Ge-Au eutectic in contact with amorphous Ge substrate has been determined on the basis of electron microscopy studies of Ge-Au layered film sys- tems. The values of supercooling upon crystallization and wetting angle of liquid phase in Ge-Au system have been evaluated and compared with empirical dependence available in literature. Keywords: crystallization, eutectic, germanium, gold, film.  Р.В. Сухов, А.А. Миненков, А.П. Крышталь, 2010 ФІП ФИП PSE, 2010, т. 8, № 3, vol. 8, No. 3266 зуют фазовую диаграмму простого эвтекти- ческого типа с неограниченной раствори- мостью компонентов в жидком состоянии (рис. 1). Эвтектическая точка лежит при 12%вес. Ge и температуре 361 °С. Раствори- мость германия в золоте в твердом состоянии при эвтектической температуре составляет 1,17%вес., а при комнатной – менее 0,1%; растворимость золота в твердом германии ничтожна [4]. Выбор системы Ge-Au обусловлен следу- ющим. Во-первых, при достаточно высоких температурах плавления компонентов (Au – 1064,43 °С и Ge – 938,3 °С) они образуют эв- тектику с примерно в три раза меньшей тем- пературой плавления, что существенно облег- чает эксперименты по изучению фазовых пе- реходов в методическом плане. Во-вторых, как отмечено в [5 – 7], пленки германия, полу- чаемые в вакууме путем термического испа- рения и конденсации на подложке при ком- натной температуре, являются аморфными и формируются сплошными начиная с толщи- ны в несколько монослоев, что заведомо обеспечивает контакт на атомарном уровне с далее конденсируемой пленкой золота. Необ- ходимо также отметить, что пленки золота, осаждаемые на аморфные германиевые или углеродные подложки, растут по механизму Фольмера-Вебера, и при комнатной темпера- туре подложки конденсация золота происхо- дит в кристаллическую фазу [8, 9]. Эксперименты по препарированию образ- цов проводились в оригинальной вакуумной установке с безмасляной системой откачки на основе магниторазрядного насоса НОРД-250. Для определения температуры смены ме- ханизма конденсации пар-жидкость/пар-кри- сталл при конденсации золота на пленку аморфного германия была проведена следу- ющая серия экспериментов. На круговую под- ложку из нержавеющей стали с помощью специальной маски крепились свежие сколы монокристаллов KCl. Затем последовательно конденсировали пленку углерода толщиной 10 – 20 нм из вольтовой дуги, и пленку герма- ния необходимой толщины. Далее вдоль под- ложки создавался градиент температуры в ин- тервале 300 – 100 °С и конденсировалась пленка Au. Использовались металлы чисто- той 99.99% термически испаряемые из неза- висимых источников, причем толщины золо- та и германия выбирались таким образом, что соотношение их масс соответствовало эвтек- тическому составу. Геометрия эксперимента обеспечивала одинаковую толщину пленоч- ной системы и эвтектическое соотношение масс компонентов во всех точках подложки. Вакуум во время конденсации пленочных систем составлял не менее 1⋅10–5 Па. Толщина контролировалась по изменению резонанс- ной частоты кварцевого резонатора, а темпе- ратура измерялась с помощью термопар К-типа. После охлаждения до комнатной тем- пературы пленочные системы исследовались в просвечивающем ПЭМ-125К или растро- вом Jeol JSM-840 электронных микроскопах. Типичные электронно-микроскопические снимки таких систем приведены на рис. 2. В интервале температур подложки, при кото- рых происходила конденсация по механизму пар-жидкость (рис. 2А), на снимках присутст- вуют лишь изолированные островки близкой к сферической формы. Это указывает на об- разование в системе Ge Au жидкой фазы, ко- торая, не смачивая углеродный подслой, соби- ралась в отдельные сферические капли. Мор- фология пленочных систем, находившихся на подложке при температурах ниже температу- ры смены механизма конденсации, резко от- личается (рис. 2Б): островки имеют неправи- льную форму, далекую от сферической. Соотношение толщин компонентов при проведении экспериментов выдерживалось эвтектическим со следующей целью. Дело в том, что эвтектика Ge Au смачивает аморф- Рис. 1. Фазовая диаграмма системы Ge-Au [4]. ПЕРЕОХЛАЖДЕНИЕ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ЭВТЕКТИКИ Ge-Au НА АМОРФНОЙ ГЕРМАНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ 267 ную германиевую подложку. При этом проек- ция капель переохлажденной жидкости при наблюдении в электронном микроскопе (вид сверху) слабо отличается от проекции частиц, сформированных на германиевой подложке по механизму пар-кристалл. Поэтому, используя морфологический критерий определить границу смены механизма конденсации не удается. При эвтектическом же соотношении толщин конденсируемых пленок в области температур подложки, в которой реализуется механизм конденсации пар-жидкость, все вещество пленки в итоге переходит в жидкое состояние и собирается а) б) в) А Б Рис. 2. Микроснимки пленочных систем Ge-Au эвтектического состава различной массовой толщины при конденсации по механизму пар-жидкость (А) и пар-кристалл (Б). Толщины пленок Ge/Au a) – 1,25/2,5 нм, б) – 2,5/5 нм, в) – 15/30 нм. ФІП ФИП PSE, 2010, т. 8, № 3, vol. 8, No. 3 Р.В. СУХОВ, А.А. МИНЕНКОВ, А.П. КРЫШТАЛЬ ФІП ФИП PSE, 2010, т. 8, № 3, vol. 8, No. 3268 в сферические капли на несмачиваемом уг- леродном подслое. При этом в начальный мо- мент конденсации золота переохлажденная эвтектика образуется именно на поверхности пленки германия, т.е. величина переохлажде- ния эвтектики определяется степенью вза- имодействия между эвтектикой и германие- вой подложкой, мерой которой является крае- вой угол смачивания. Таким образом, в результате проведенных экспериментов определена зависимость тем- пературы кристаллизации эвтектики Ge-Au в контакте с аморфной германиевой пленкой при изменении толщины пленочной системы в диапазоне 2 – 60 нм (рис. 3). При общей толщине пленочной системы менее 2 нм, используя морфологический кри- терий, не удается определить границу смены механизма конденсации, так как пленочные системы, сконденсированные как по меха- низму пар-жидкость, так и по механизму пар- кристалл, имеют практически одинаковую морфологию. Обсуждая полученные результаты нельзя не отметить (рис. 3) достаточно сильную за- висимость температуры кристаллизации Tg от толщины пленочной системы в области ма- лых размеров, хотя для однокомпонентных систем установлено, что температура крис- таллизации практически не зависит от раз- мера [10]. Это, вероятно, связано с особен- ностями плавления-кристаллизации в бинар- ных системах эвтектического типа. Так, в работе [11] показано, что уже при толщине ∼ 0,2 нм в системе Ge-Au происходит образо- вание жидкой фазы. Следовательно, при кон- денсации золота на очень тонкую пленку гер- мания при формировании жидкой фазы ого- ляется углеродный подслой, и устойчивость жидкой фазы при дальнейшей конденсации золота определяется уже характером ее вза- имодействия с аморфной углеродной плен- кой. При увеличении толщины системы по- степенно происходит переход от случая фор- мирования эвтектики на несмачиваемой по- верхности аморфного углерода к случаю фор- мирования переохлажденной жидкой фазы на поверхности германия. В пользу этого также свидетельствуют ве- личины переохлаждения наблюдаемые в сис- теме. Так, при больших (более 20 нм) массо- вых толщинах пленочной системы величина переохлаждения при кристаллизации жидкой фазы 60E gT T T∞∆ = − ≈ °. По мере уменьше- ния толщины величина ∆T увеличивается и при толщине системы ∼ 3 нм составляет 0,29 ET T ∞∆ ≈ ⋅ . Если принять, что эвтектика практически не смачивает аморфную угле- родную подложку, то величина переохлаж- дения должна стремиться к максимально воз- можному для всех систем значению 0,4 ET T ∞∆ ≈ ⋅ [12], что и наблюдается экспе- риментально. Для описания величины переохлаждения в системе эвтектика-аморфный германий не- обходимы данные о величине краевого угла смачивания. Для его определения на пленку германия толщиной ~100 нм конденсирова- лись пленочные системы Ge Au эвтектичес- кого состава, после чего образцы нагревались до температуры, несколько превышающей эвтектическую, и выдерживались при ней ∼ 10 мин. После охлаждения до комнатной температуры пленочные системы исследова- лись в растровом электронном микроскопе JEOL JSM-840. Типичные микроснимки ка- пель закристаллизовавшейся на поверхности германия эвтектики приведены на рис. 4. Угол смачивания определялся по методу наклонного наблюдения [12]. Усредненное по более, чем десяти каплям, значение угла сма- Рис. 3. Зависимость температуры смены механизма конденсации пар-жидкость/пар-кристалл при конден- сации Au на слой аморфного Ge Tg (• ) от толщины пленочной системы эвтектического состава (T∞ Е– эв- тектическая температура для массивных образцов [4], ∆T – величина переохлаждения). ПЕРЕОХЛАЖДЕНИЕ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ЭВТЕКТИКИ Ge-Au НА АМОРФНОЙ ГЕРМАНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ 269 чивания эвтектикой Ge-Au поверхности аморфного германия составило 57, что в со- четании с измеренной величиной переохлаж- дения ∆T/TE = 61/634,15 ≈ 0,1TE согласуется с известной эмпирической зависимостью ве- личины относительного переохлаждения жидкой фазы при кристаллизации от степени взаимодействия с подложкой [3]. Таким образом, в результате выполненных исследований экспериментально построена размерная зависимость температуры крис- таллизации эвтектики Ge-Au в контакте с аморфной германиевой подложкой. Измерен краевой угол смачивания эвтектикой Ge-Au поверхности аморфного германия. Резуль- таты измерений хорошо согласуются с из- вестной эмпирической зависимостью вели- чины переохлаждения от степени взаимо- действия переохлажденной жидкости с подл- ожкой. ЛИТЕРАТУРА 1. Палатник Л.С., Комник Ю.Ф. О критической температуре конденсации Bi, Pb и Sn//Физика металлов и металловедение. – 1960. – Т. 10. – С. 632-636. 2. Гладких Н.Т, Ларин В.И., Северин В.М. Вли- яние условий препарирования на образова- ние жидкой фазы при конденсации//Кристал- лография.– 1974. – Т. 19, № 2. – С. 414-417. 3. Gladkich N.T., Dukarov S.V., Sukhov V.N. Su- percooling during metal crystallization under conditions close to weightlessness using island vacuum condensates//Zeitschrift fьr Metallkun- de. – 1996. – Vol. 87, № 3. – Р. 233-239. 4. Oksmoto H. Phase diagrams for binary alloys. – USA: ASM International, 2000. – 828 p. 5. Палатник Л.С., Папиров И.И. Ориентирован- ная кристаллография. – М.: Металлургия, 1964. – 408 c. 6. Крышталь А.П., Гладких Н.Т., Сухов Р.В. и др. Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке// Рис. 4. Микроснимки капель эвтектики Ge-Au на подложке аморфного германия под углом 75° к оптической оси микроскопа. ФІП ФИП PSE, 2010, т. 8, № 3, vol. 8, No. 3 Р.В. СУХОВ, А.А. МИНЕНКОВ, А.П. КРЫШТАЛЬ ФІП ФИП PSE, 2010, т. 8, № 3, vol. 8, No. 3270 Адгезия расплавов и пайка материалов. – 2007. – Вып. 40. – С. 55-62. 7. Бардамид А.Ф. Структура пленок аморфного германия. Дисс. канд. физ.–мат. наук: 01.04.10. – К.:, 1984. – 149 с. 8. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. – М.: Атомиздат, 1979. – 264 с. 9. Li Z.Y., Young N.P., Di Vece M. et. al. Three-di- mensional atomic-scale structure of size-selected gold nanoclusters//Nature. – 2008. – Vol. 451, № 3. – P. 46-49. 10. Gladkikh N.T., Larin V.I., Maiboroda S.A.. In- fluence of size on the supercooling in the crys- tallization of small particles in Bismuth island films//Сryst. Res. Technol. – 1994. – Vol. 29. – P. 51-59. 11. Крышталь А.П., Сухов Р.В., Гладких Н.Т. Раз- мерный эффект контактного плавления в сло- истой пленочной системе Ge/Au//Материалы 9-ой Международной конференции “Физи- ческие явления в твердых телах”. – Харьков: ХНУ им. В.Н. Каразина. – 2009. – С. 116. 12. Гладких Н.Т., Дукаров С.В., Крышталь А.П и др. Поверхностные явления и фазовые прев- ращения в конденсированных пленках/Под ред. проф. Н.Т. Гладких. – Харьков: ХНУ им. В.Н. Каразина, 2004. – 276 с. ПЕРЕОХЛАЖДЕНИЕ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ЭВТЕКТИКИ Ge-Au НА АМОРФНОЙ ГЕРМАНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98903
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T16:34:58Z
publishDate 2010
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Сухов, Р.В.
Миненков, А.А.
Крышталь, А.П.
2016-04-19T13:30:00Z
2016-04-19T13:30:00Z
2010
Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке / Р.В. Сухов, А.А. Миненков, А.П. Крышталь // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 3. — С. 265–270. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98903
На основании электронно-микроскопических исследований слоистых пленочных систем
 эвтектического типа Ge-Au построена размерная зависимость температуры кристаллизации
 жидкой фазы эвтектического состава в контакте с аморфной германиевой подложкой. Измеренный угол смачивания и величина переохлаждения жидкой фазы в системе хорошо коррелируют с эмпирической зависимостью величины переохлаждения при кристаллизации от
 степени взаимодействия с подложкой.
В результаті електронно-мікроскопічних досліджень шаруватих плівкових систем евтектичного
 типу Ge-Au побудована розмірна залежність температури кристалізації рідкої фази евтектичного
 складу у контактіз аморфною германієвою підкладкою. Виміряний кут змочування та величина
 переохолодження рідкої фази в системі добре узгоджуються з емпіричною залежністю величини
 переохолодження при кристалізації від рівня взаємодії з підкладкою.
Size dependence of the crystallization temperature of Ge-Au eutectic in contact with amorphous Ge
 substrate has been determined on the basis of electron microscopy studies of Ge-Au layered film systems.
 The values of supercooling upon crystallization and wetting angle of liquid phase in Ge-Au
 system have been evaluated and compared with empirical dependence available in literature.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
Article
published earlier
spellingShingle Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
Сухов, Р.В.
Миненков, А.А.
Крышталь, А.П.
title Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
title_full Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
title_fullStr Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
title_full_unstemmed Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
title_short Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
title_sort переохлаждение при кристаллизации эвтектики ge-au на аморфной германиевой подложке
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98903
work_keys_str_mv AT suhovrv pereohlaždenieprikristallizaciiévtektikigeaunaamorfnoigermanievoipodložke
AT minenkovaa pereohlaždenieprikristallizaciiévtektikigeaunaamorfnoigermanievoipodložke
AT kryštalʹap pereohlaždenieprikristallizaciiévtektikigeaunaamorfnoigermanievoipodložke