Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
Исследована возможность регулировки состава Ti-Al-N покрытий получаемых вакуумно-дуговым методом путём смешения потоков плазмы от генераторов с титановым и алюминиевым катодом. Фильтрация потоков осуществлялась с помощью общего для обоих генераторов Т-образного двухканального фильтра Установлено,...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98909 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 307–313. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98909 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. 2016-04-19T13:57:06Z 2016-04-19T13:57:06Z 2010 Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 307–313. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98909 621.793 Исследована возможность регулировки состава Ti-Al-N покрытий получаемых вакуумно-дуговым методом путём смешения потоков плазмы от генераторов с титановым и алюминиевым катодом. Фильтрация потоков осуществлялась с помощью общего для обоих генераторов Т-образного двухканального фильтра Установлено, что изменения содержания алюминия и титана в покрытии можно достичь путём регулировки соотношения разрядных токов в генераторах плазмы. Увеличение диапазона регулировки состава покрытия достигается путём подбора интенсивности магнитных полей в анодных секциях генераторов плазмы. Полученные покрытия однородны по составу на подложке диаметром 180 мм. Определены условия, позволяющие регулировать концентрацию алюминия в пределах от ∼14 вес.% до ∼60 вес.%. Досліджено можливість регулювання составу Ti-Al-N покриттів, які отримано вакуумно-дуговим методом шляхом змішування потоків плазми від генераторів із титановим та алюмінієвим катодом. Фільтрація потоків здійснювалась за допомогою спільного для обох генераторів T подібного двоканального фільтру. Встановлено, що зміни вмісту алюмінію та титану в покритті можливо досягти шляхом регулювання співвідношення розрядних струмів генераторів плазми. Збільшення діапазону регулювання составу покриття досягається шляхом підбору інтенсивності магнітних полів в анодних секціях генераторів плазми. Отримані покриття однорідніза складом на підкладці діаметром 180 мм. Визначено умови, які дозволяють регулювати концентрацію алюмінію у межах від ∼14 ваг.% до ∼60 ваг.%. Ability of Ti Al N films composition adjustment, deposited using vacuum arc technique by mixing of plasma streams from plasma sources equipped with titanium and aluminum cathodes was investigated. Plasma filtering was performed by common to both plasma sources T-shaped two-channel filter. It has been found that film composition can be varied by changing arc currents in plasma sources. Adjustment range can be expanded by changing magnetic field intensity in anode sections of plasma sources. Obtained films have uniform composition on 180 mm diameter surface. Conditions for composition adjustment range from ∼14 wt.% to ∼60 wt.% were found. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы |
| spellingShingle |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| title_short |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы |
| title_full |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы |
| title_fullStr |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы |
| title_full_unstemmed |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы |
| title_sort |
регулировка состава ti-al-n покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы |
| author |
Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| description |
Исследована возможность регулировки состава Ti-Al-N покрытий получаемых вакуумно-дуговым методом путём смешения потоков плазмы от генераторов с титановым и алюминиевым
катодом. Фильтрация потоков осуществлялась с помощью общего для обоих генераторов
Т-образного двухканального фильтра Установлено, что изменения содержания алюминия и
титана в покрытии можно достичь путём регулировки соотношения разрядных токов в
генераторах плазмы. Увеличение диапазона регулировки состава покрытия достигается путём
подбора интенсивности магнитных полей в анодных секциях генераторов плазмы. Полученные
покрытия однородны по составу на подложке диаметром 180 мм. Определены условия, позволяющие регулировать концентрацию алюминия в пределах от ∼14 вес.% до ∼60 вес.%.
Досліджено можливість регулювання составу Ti-Al-N покриттів, які отримано вакуумно-дуговим методом шляхом змішування потоків плазми від генераторів із титановим та алюмінієвим катодом. Фільтрація потоків здійснювалась за допомогою спільного для обох генераторів T подібного двоканального фільтру. Встановлено, що зміни вмісту алюмінію та титану в
покритті можливо досягти шляхом регулювання співвідношення розрядних струмів генераторів плазми. Збільшення діапазону регулювання составу покриття досягається шляхом підбору
інтенсивності магнітних полів в анодних секціях генераторів плазми. Отримані покриття однорідніза складом на підкладці діаметром 180 мм. Визначено умови, які дозволяють регулювати
концентрацію алюмінію у межах від ∼14 ваг.% до ∼60 ваг.%.
Ability of Ti Al N films composition adjustment, deposited using vacuum arc technique by mixing of
plasma streams from plasma sources equipped with titanium and aluminum cathodes was investigated.
Plasma filtering was performed by common to both plasma sources T-shaped two-channel filter. It
has been found that film composition can be varied by changing arc currents in plasma sources.
Adjustment range can be expanded by changing magnetic field intensity in anode sections of plasma
sources. Obtained films have uniform composition on 180 mm diameter surface. Conditions for
composition adjustment range from ∼14 wt.% to ∼60 wt.% were found.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98909 |
| citation_txt |
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 307–313. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT aksenovds regulirovkasostavatialnpokrytiiosaždaemyhsprimeneniemdvuhkanalʹnogovakuumnodugovogoistočnikafilʹtrovannoiplazmy AT aksenovii regulirovkasostavatialnpokrytiiosaždaemyhsprimeneniemdvuhkanalʹnogovakuumnodugovogoistočnikafilʹtrovannoiplazmy AT lučaninovaa regulirovkasostavatialnpokrytiiosaždaemyhsprimeneniemdvuhkanalʹnogovakuumnodugovogoistočnikafilʹtrovannoiplazmy AT rešetnâken regulirovkasostavatialnpokrytiiosaždaemyhsprimeneniemdvuhkanalʹnogovakuumnodugovogoistočnikafilʹtrovannoiplazmy AT strelʹnickiive regulirovkasostavatialnpokrytiiosaždaemyhsprimeneniemdvuhkanalʹnogovakuumnodugovogoistočnikafilʹtrovannoiplazmy |
| first_indexed |
2025-12-02T06:39:59Z |
| last_indexed |
2025-12-02T06:39:59Z |
| _version_ |
1850861761784184832 |