Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
Исследована возможность регулировки состава Ti-Al-N покрытий получаемых вакуумно-дуговым методом путём смешения потоков плазмы от генераторов с титановым и алюминиевым
 катодом. Фильтрация потоков осуществлялась с помощью общего для обоих генераторов
 Т-образного двухканального фильт...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| ISSN: | 1999-8074 |
| Hauptverfasser: | Аксёнов, Д.С., Аксёнов, И.И., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98909 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 307–313. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
von: Лучанинов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Лучанинов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
von: Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht: (2013)
von: Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht: (2013)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Особенности структуры электролитических никелевых покрытий, осаждаемых с применением нестационарных режимов электролиза
von: Щур, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Щур, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
von: Решетняк, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)
von: Решетняк, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)
Покрытия на основе тугоплавких соединений, осаждаемых из потоков металлической плазмы вакуумной дуги
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
von: Аксенов, И.И.
Veröffentlicht: (2001)
von: Аксенов, И.И.
Veröffentlicht: (2001)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий
von: Гриценко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Гриценко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)
О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Методы пайки изделий в вакууме с помощью вакуумно-дугового разряда
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2016)
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2016)
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
РОЗРОБКА ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО РЕАКТИВНОГО ДВИГУНА НА МЕТАЛЕВІЙ ПЛАЗМІ
von: SPIRIN, Ye. V.
Veröffentlicht: (2026)
von: SPIRIN, Ye. V.
Veröffentlicht: (2026)
Оптимизация параметров источника пара для генераторов водяной плазмы
von: Булат, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Булат, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Геометрическая форма и эрозионная стойкость медного водоохлаждаемого анода дугового источника нагрева
von: Шаповалов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Шаповалов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Ähnliche Einträge
-
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008) -
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011) -
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009) -
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017) -
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)