Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
Исследована возможность регулировки состава Ti-Al-N покрытий получаемых вакуумно-дуговым методом путём смешения потоков плазмы от генераторов с титановым и алюминиевым катодом. Фильтрация потоков осуществлялась с помощью общего для обоих генераторов Т-образного двухканального фильтра Установлено,...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | Аксёнов, Д.С., Аксёнов, И.И., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98909 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 307–313. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
Особенности структуры электролитических никелевых покрытий, осаждаемых с применением нестационарных режимов электролиза
за авторством: Щур, Н.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Щур, Н.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2016)
Совершенствование способов повышения качества покрытий, осаждаемых в вакууме
за авторством: Сердюк, В.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сердюк, В.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)
Структура, свойства и получение твердых нанокристаллических покрытий, осаждаемых несколькими способами
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Покрытия на основе тугоплавких соединений, осаждаемых из потоков металлической плазмы вакуумной дуги
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Структура и физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий системы (Zr-Ti-Cr-Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового испарения
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2009)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Методы пайки изделий в вакууме с помощью вакуумно-дугового разряда
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2016)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Оптимизация параметров источника пара для генераторов водяной плазмы
за авторством: Булат, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Булат, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
Схожі ресурси
-
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008) -
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011) -
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009) -
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015) -
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)