Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Сагалович, А.В., Кононихін, А.В., Попов, В.В., Дуднік, C.Ф., Сагалович, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98914
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів / А.В. Сагалович, А.В. Кононихін, В.В. Попов, C.Ф. Дуднік, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 336–347. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.

Для нанесення функціональних багатошарових композиційних покриттів розроблено і створено експериментально-технологічне обладнання – автоматизована система AVINIT, яка дозволяє реалізувати комплексні методи нанесення покриттів (плазмохімічні CVD, вакуум-плазмові PVD (вакуум-дугові, магнетронні), процеси іонного насичення та іонної обробки поверхні), об’єднані в одному технологічному циклі. Проведена реконструкція технологічного обладнання на основі комп’ютерізації керування технологічним процесом і розроблені програмні продукти дозволяють наносити нано- і мікрошарові багатокомпонентні покриття на прецизійні поверхні високого класу чистоти для застосування в парах тертя прецизійних вузлів агрегатобудування. Для нанесения функциональных многослойных композиционных покрытий разработано и создано экспериментально-технологическое оборудование – автоматизированная система AVINIT, которая позволяет реализовать комплексные методы нанесения покрытий (плазмохимические CVD, вакуум-плазменные PVD (вакуумно-дуговые, магнетронные), процессы ионного насыщения и ионной обработки поверхности), объединенные в одном технологическом цикле. Проведена реконструкция технологического оборудования на основе компьютеризации управления технологическим процессом и разработанные программные продукты позволяют наносить нано- и микрослойные многокомпонентные покрытия на прецизионные поверхности высокого класса чистоты для применения в парах трения прецизионных узлов агрегатостроения. It was worked out and was made technological equipment an automotized system Avinit, wich gives possibility to realize complex coating depositiong methods (plasmachemical CVD, vacuum-plasma PVD (vacuum arc, magnetron), processes of ion saturation and ion surface processing), incorporated in one technological cycle. Reconstruction of technological equipment on the basis of the computerization of process control and developed software products allow to apply nano-and microlayered multi-coating on the surface of high precision with low roughness for use in precision friction pairs of hydrulical units.