Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів

• Опубліковано в: Физическая инженерия поверхности
• Дата: 2010
• ISSN: 1999-8074
• Автори: Сагалович, А.В., Кононихін, А.В., Попов, В.В., Дуднік, C.Ф., Сагалович, В.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98914
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Установка AVINIT для нанесення багатошарових
 функціональних покриттів / А.В. Сагалович, А.В. Кононихін, В.В. Попов, C.Ф. Дуднік, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 336–347. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.

Для нанесення функціональних багатошарових композиційних покриттів розроблено і створено
 експериментально-технологічне обладнання – автоматизована система AVINIT, яка дозволяє
 реалізувати комплексні методи нанесення покриттів (плазмохімічні CVD, вакуум-плазмові
 PVD (вакуум-дугові, магнетронні), процеси іонного насичення та іонної обробки поверхні),
 об’єднані в одному технологічному циклі. Проведена реконструкція технологічного обладнання
 на основі комп’ютерізації керування технологічним процесом і розроблені програмні продукти
 дозволяють наносити нано- і мікрошарові багатокомпонентні покриття на прецизійні поверхні
 високого класу чистоти для застосування в парах тертя прецизійних вузлів агрегатобудування. Для нанесения функциональных многослойных композиционных покрытий разработано и
 создано экспериментально-технологическое оборудование – автоматизированная система
 AVINIT, которая позволяет реализовать комплексные методы нанесения покрытий (плазмохимические CVD, вакуум-плазменные PVD (вакуумно-дуговые, магнетронные), процессы
 ионного насыщения и ионной обработки поверхности), объединенные в одном технологическом
 цикле. Проведена реконструкция технологического оборудования на основе компьютеризации
 управления технологическим процессом и разработанные программные продукты позволяют
 наносить нано- и микрослойные многокомпонентные покрытия на прецизионные поверхности
 высокого класса чистоты для применения в парах трения прецизионных узлов агрегатостроения. It was worked out and was made technological equipment an automotized system Avinit, wich gives
 possibility to realize complex coating depositiong methods (plasmachemical CVD, vacuum-plasma
 PVD (vacuum arc, magnetron), processes of ion saturation and ion surface processing), incorporated
 in one technological cycle. Reconstruction of technological equipment on the basis of the
 computerization of process control and developed software products allow to apply nano-and microlayered
 multi-coating on the surface of high precision with low roughness for use in precision friction
 pairs of hydrulical units.