Зображення обкладинки

Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів

Для нанесення функціональних багатошарових композиційних покриттів розроблено і створено експериментально-технологічне обладнання – автоматизована система AVINIT, яка дозволяє реалізувати комплексні методи нанесення покриттів (плазмохімічні CVD, вакуум-плазмові PVD (вакуум-дугові, магнетронні), п...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2010
Автори: Сагалович, А.В., Кононихін, А.В., Попов, В.В., Дуднік, C.Ф., Сагалович, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98914
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів / А.В. Сагалович, А.В. Кононихін, В.В. Попов, C.Ф. Дуднік, В.В. Сагалович // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 4. — С. 336–347. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Схожі ресурси