Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівк...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2012
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98928 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98928 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Куровець, В.В. Федорів, В.Д. Яремій, І.П. 2016-04-19T14:43:25Z 2016-04-19T14:43:25Z 2012 Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98928 548.55:53.091 Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівки зростає. Показано наявність мінімуму (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на залежності виміряної величини мікротвердості плівок залізо-ітрієвого ґранату від дози опромінення іонами гелію. Проведены измерения микротвердости монокристаллических пленок железо-иттриевого граната разных толщин как неимплантированных, так и модифицированных бомбардированием ионами гелия (Е = 100 кэВ, D = 1•10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Установлено, что микротвердость пленок железо-иттриевого граната с увеличением толщины пленки возрастает. Показано наличие минимума (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на зависимости измеренной величины микротвердости пленок железо-иттриевого граната от дозы облучения ионами гелия The results of microhardness measurements of various thicknesses nonimplanted and implanted by helium ions E = 100 keV, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ ion/cm² single crystalline YIG films are represented. It is set that microhardness of YIG films increases with the increase of film thickness. The presence of a minimum (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /сm² ) on the dose dependence of measured values microhardness of helium implanted YIG films is performed. Remove selected Робота виконана за підтримки CRDF/ USAID (UKX 2-9200-IF-08) та МОН України (М/130-2009). uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату |
| spellingShingle |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату Куровець, В.В. Федорів, В.Д. Яремій, І.П. |
| title_short |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату |
| title_full |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату |
| title_fullStr |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату |
| title_full_unstemmed |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату |
| title_sort |
мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату |
| author |
Куровець, В.В. Федорів, В.Д. Яремій, І.П. |
| author_facet |
Куровець, В.В. Федорів, В.Д. Яремій, І.П. |
| publishDate |
2012 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| description |
Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівки зростає. Показано наявність мінімуму (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на залежності виміряної величини мікротвердості плівок залізо-ітрієвого ґранату від дози опромінення іонами гелію.
Проведены измерения микротвердости монокристаллических пленок железо-иттриевого граната разных толщин как неимплантированных, так и модифицированных бомбардированием ионами гелия (Е = 100 кэВ, D = 1•10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Установлено, что микротвердость пленок железо-иттриевого граната с увеличением толщины пленки возрастает. Показано наличие минимума (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на зависимости измеренной величины микротвердости пленок железо-иттриевого граната от дозы облучения ионами гелия
The results of microhardness measurements of various thicknesses nonimplanted and implanted by helium ions E = 100 keV, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ ion/cm² single crystalline YIG films are represented. It is set that microhardness of YIG films increases with the increase of film thickness. The presence of a minimum (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /сm² ) on the dose dependence of measured values microhardness of helium implanted YIG films is performed.
Remove selected
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98928 |
| citation_txt |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT kurovecʹvv míkrotverdístʹímplantovanihíonamigelíûmonokristalíčnihplívokzalízoítríêvogogranatu AT fedorívvd míkrotverdístʹímplantovanihíonamigelíûmonokristalíčnihplívokzalízoítríêvogogranatu AT âremíiíp míkrotverdístʹímplantovanihíonamigelíûmonokristalíčnihplívokzalízoítríêvogogranatu |
| first_indexed |
2025-11-30T09:26:13Z |
| last_indexed |
2025-11-30T09:26:13Z |
| _version_ |
1850857190155354112 |