Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату

Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівк...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2012
Автори: Куровець, В.В., Федорів, В.Д., Яремій, І.П.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98928
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862629655291363328
author Куровець, В.В.
Федорів, В.Д.
Яремій, І.П.
author_facet Куровець, В.В.
Федорів, В.Д.
Яремій, І.П.
citation_txt Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівки зростає. Показано наявність мінімуму (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на залежності виміряної величини мікротвердості плівок залізо-ітрієвого ґранату від дози опромінення іонами гелію. Проведены измерения микротвердости монокристаллических пленок железо-иттриевого граната разных толщин как неимплантированных, так и модифицированных бомбардированием ионами гелия (Е = 100 кэВ, D = 1•10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Установлено, что микротвердость пленок железо-иттриевого граната с увеличением толщины пленки возрастает. Показано наличие минимума (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на зависимости измеренной величины микротвердости пленок железо-иттриевого граната от дозы облучения ионами гелия The results of microhardness measurements of various thicknesses nonimplanted and implanted by helium ions E = 100 keV, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ ion/cm² single crystalline YIG films are represented. It is set that microhardness of YIG films increases with the increase of film thickness. The presence of a minimum (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /сm² ) on the dose dependence of measured values microhardness of helium implanted YIG films is performed. 
 Remove selected
first_indexed 2025-11-30T09:26:13Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98928
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Ukrainian
last_indexed 2025-11-30T09:26:13Z
publishDate 2012
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Куровець, В.В.
Федорів, В.Д.
Яремій, І.П.
2016-04-19T14:43:25Z
2016-04-19T14:43:25Z
2012
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98928
548.55:53.091
Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівки зростає. Показано наявність мінімуму (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на залежності виміряної величини мікротвердості плівок залізо-ітрієвого ґранату від дози опромінення іонами гелію.
Проведены измерения микротвердости монокристаллических пленок железо-иттриевого граната разных толщин как неимплантированных, так и модифицированных бомбардированием ионами гелия (Е = 100 кэВ, D = 1•10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Установлено, что микротвердость пленок железо-иттриевого граната с увеличением толщины пленки возрастает. Показано наличие минимума (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на зависимости измеренной величины микротвердости пленок железо-иттриевого граната от дозы облучения ионами гелия
The results of microhardness measurements of various thicknesses nonimplanted and implanted by helium ions E = 100 keV, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ ion/cm² single crystalline YIG films are represented. It is set that microhardness of YIG films increases with the increase of film thickness. The presence of a minimum (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /сm² ) on the dose dependence of measured values microhardness of helium implanted YIG films is performed. 
 Remove selected
Робота виконана за підтримки CRDF/
 USAID (UKX 2-9200-IF-08) та МОН України
 (М/130-2009).
uk
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
Article
published earlier
spellingShingle Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
Куровець, В.В.
Федорів, В.Д.
Яремій, І.П.
title Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
title_full Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
title_fullStr Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
title_full_unstemmed Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
title_short Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
title_sort мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98928
work_keys_str_mv AT kurovecʹvv míkrotverdístʹímplantovanihíonamigelíûmonokristalíčnihplívokzalízoítríêvogogranatu
AT fedorívvd míkrotverdístʹímplantovanihíonamigelíûmonokristalíčnihplívokzalízoítríêvogogranatu
AT âremíiíp míkrotverdístʹímplantovanihíonamigelíûmonokristalíčnihplívokzalízoítríêvogogranatu