Многослойные периодические композиции W/B₄C c периодом 1,35 нм

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2012
• Main Author: Копылец, И.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98929
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Многослойные периодические композиции W/B₄C c периодом 1,35 нм / И.А. Копылец // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 52–58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Рассмотреныпроцессывзаимодействия, происходящие в многослойных рентгеновских зеркалах W/B₄C с периодом 1,35 нм, при изготовлении и нагреве. Произведено сравнение их с процессами в многослойных периодических композициях W/B₄C с периодом 2,5 нм. Исследование производилось с помощью рентгенодифрактометрического и электронномикроскопического методов. Установлено, что термическая стойкость многослойных зеркал W/B₄C зависит от толщины слоев B₄C. Образование боридов вольфрама в зеркалах с периодом 1,35 нм начинается при температуре 500 °С, что на 100 °С меньше чем в образцах с периодом 2,5 нм. Разрушение слоистости происходит в результате объединения вольфрам-содержащих слоев в глобулы при 800 °С. Розглянуті процеси взаємодії, що відбуваються в багатошарових рентгенівських дзеркалах W/B₄C з періодом 1,35 нм, при виготовленні і нагріві. Зроблене порівняння їх з процесами в багатошарових періодичних композиціях W/B₄C з періодом 2,5 нм. Дослідження виконано за допомогою рентгенодифрактометричного і електронномікроскопічного методів. Встановлено, що термічна стійкість багатошарових дзеркал W/B₄C залежить від товщини шарів B₄C. Утворення боридів вольфраму в дзеркалах з періодом 1,35 нм починається при температурі 500 °С, що на 100 °С менше ніж у зразках з періодом 2,5 нм. Руйнування шаруватості відбувається в результаті об’єднання шарів, які містять вольфрам, у глобули при 800 °С. Interaction processes taking place in the W/B₄C multilayer x-ray mirrors with a period of 1.35 nm upon making and heat treatment are considered. They are compared with the processes in W/B₄C multilayer periodic compositions with a period of 2,5 nm. The study was performed with using of x-ray diffractometry and electron microscopy. High-temperature stability of W/B₄C multylayer mirrors was ascertained to depend on thickness of the B₄C layers. Formation of tungsten borides in the 1,35 nm mirrors begins at the temperature of 500 °С that is 100 °С lower than it is for the specimens with a period of 2,5 nm. Destruction of the lamination occurs as a result of merging of tungstencontaining layers into globules at 800 °С.