Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2012
• 1. Verfasser: Бугаев, Е.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал. Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано, що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж поверхні дзеркал. Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered. The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the mirror surface.