Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм

Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2012
1. Verfasser:	Бугаев, Е.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russian
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98930
record_format	dspace
spelling	Бугаев, Е.А. 2016-04-19T14:56:52Z 2016-04-19T14:56:52Z 2012 Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930 539.234; 538.971; 621.793.182 Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал. Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано, що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж поверхні дзеркал. Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered. The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the mirror surface. Автор выражает благодарность Ирине Цыганковой, Игорю Артюкову и Валерию Кон- дратенко за помощь в проведении экспериментов и подготовке статьи. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
spellingShingle	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм Бугаев, Е.А.
title_short	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_full	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_fullStr	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_full_unstemmed	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_sort	особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий со/с при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны i = 4,86 нм
author	Бугаев, Е.А.
author_facet	Бугаев, Е.А.
publishDate	2012
language	Russian
container_title	Физическая инженерия поверхности
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format	Article
description	Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал. Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано, що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж поверхні дзеркал. Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered. The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the mirror surface.
issn	1999-8074
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930
citation_txt	Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT bugaevea osobennostiformirovaniâmnogosloinyhnanorazmernyhpokrytiisosprisozdaniirentgenovskoiizobražaûŝeisistemyrabotaûŝeinadlinevolnyi486nm
first_indexed	2025-12-07T20:10:46Z
last_indexed	2025-12-07T20:10:46Z
_version_	1850881601605468160

Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм

Institution

Ähnliche Einträge