Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм

Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского
 излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка ди...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2012
1. Verfasser: Бугаев, Е.А.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862739704852512768
author Бугаев, Е.А.
author_facet Бугаев, Е.А.
citation_txt Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского
 излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой
 и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода
 многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал. Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання
 в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано,
 що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки
 з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж
 поверхні дзеркал. Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered.
 The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild
 system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron
 sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the
 mirror surface.
first_indexed 2025-12-07T20:10:46Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98930
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T20:10:46Z
publishDate 2012
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Бугаев, Е.А.
2016-04-19T14:56:52Z
2016-04-19T14:56:52Z
2012
Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930
539.234; 538.971; 621.793.182
Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского
 излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой
 и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода
 многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал.
Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання
 в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано,
 що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки
 з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж
 поверхні дзеркал.
Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered.
 The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild
 system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron
 sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the
 mirror surface.
Автор выражает благодарность Ирине Цыганковой, Игорю Артюкову и Валерию Кон-
 дратенко за помощь в проведении экспериментов и подготовке статьи.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
Article
published earlier
spellingShingle Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
Бугаев, Е.А.
title Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_full Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_fullStr Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_full_unstemmed Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_short Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
title_sort особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий со/с при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны i = 4,86 нм
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98930
work_keys_str_mv AT bugaevea osobennostiformirovaniâmnogosloinyhnanorazmernyhpokrytiisosprisozdaniirentgenovskoiizobražaûŝeisistemyrabotaûŝeinadlinevolnyi486nm