Силицидные покрытия на молибдене: получение, структура, свойства

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2012
• Main Authors: Литовченко, С.В., Береснев, В.М., Дробышевская, А.А., Турбин, П.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98941
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Силицидные покрытия на молибдене: получение, структура, свойства / С.В. Литовченко, В.М. Береснев, А.А. Дробышевская, П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 110–137. — Бібліогр.: 65 назв. — рос.

В обзоре изложено современное состояние исследований структуры и свойств силицидных покрытий на молибдене. Приводятся характеристики способов формирования силицидных покрытий и физических свойств системы кремний-молибден. Изложены особенности диффузионного силицирования молибдена из порошковых сре...